目前，國內(nèi)石英坩堝生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)中使用的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)全部源于上世紀70年代初錦州155廠從日本引進的生產(chǎn)設(shè)備及工藝技術(shù)，該項技術(shù)設(shè)備自動化程度不高，整個生產(chǎn)過程中更多的依靠人工來實現(xiàn)，現(xiàn)在國內(nèi)新上的坩堝生產(chǎn)設(shè)備都已經(jīng)往自動化發(fā)展。坩堝使用時通常會將坩堝蓋斜放在坩堝上，以防止受熱物跳出，并讓空氣能自由進出以進行可能的氧化反應(yīng)。坩堝的發(fā)展還是很快的。

石英坩堝可在1450度以下使用，分透明和不透明兩種。在每次拆爐時，要清理氧化物，并把石墨件上的滲硅清理干凈，一些保溫蓋等部件要擦拭干凈，避免一些雜物污染原料，除了在使用中注意人身安全外，還需要注意這種物品要輕拿輕放，確保石墨坩堝的安全。用電弧法制的半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅，發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎(chǔ)材料。當今，世界半導體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。他具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質(zhì)量穩(wěn)定等優(yōu)點。

石墨坩堝扛氧化能力的提升辦法有哪些？

對以金屬硅粉為主要滲料，在密閉的匣缽內(nèi)采用包埋法的工藝,保1健品電視專題片，能夠制得構(gòu)造公道擁有功效 梯度特點的合乎涂層，即sic過渡層-sic致密層-si-sio2多相涂層。坩堝的安裝一、安裝坩堝前，必須先檢查爐膛內(nèi)部：爐壁和爐底應(yīng)該是完好無損，沒有金屬或爐渣附著。以sic為主成份的外層，跟著高溫保溫時光的延伸，涂層厚度增添 ，sio2含量增多。

該涂層與基體的結(jié)合主要以化學結(jié)合為主，兼有機械結(jié)合，聯(lián)合強度高。5、坩堝和爐壁之間要保持適當?shù)木嚯x，一般要把坩堝放在爐內(nèi)中央。對涂層后的石墨坩堝進行扛氧化測試，測 試成果表白：包埋法制備的扛氧化涂層，在1100℃-1300℃存在較凸起的扛氧化機能,泰興減速機。浸涂構(gòu)成的單涂層重要以sic跟si3n4為主。