用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

選擇示漏氣體(示蹤氣體）的原則是：它在空氣中及真空系統(tǒng)中的含量低；檢漏儀對(duì)示漏氣體的靈敏度高；它不會(huì)對(duì)人員、環(huán)境、被檢件及檢漏儀造成污染、傷害和安全隱患；價(jià)格低。

質(zhì)譜檢漏儀通常選擇氦氣作示蹤氣體，主要原因如下：

1、氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量極1少（在空氣中約含5.2ppm），在材料出氣中也很少，因此本底壓力小，輸出的本底電流也小。正因?yàn)楸镜仔?，由某些原因引起本底的波?dòng)，亦即本底噪聲也就小，因此微小漏率也就能反應(yīng)出來(lái)，靈敏度高。

2、氦的質(zhì)量?。ㄏ鄬?duì)分子質(zhì)量為4），易于穿過(guò)漏孔。這樣，氦較除氫以外的其他氣體通過(guò)同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。

3、氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會(huì)污染被檢件，使用安全。

4、在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們?cè)诜治銎髦械钠D(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開(kāi)，定標(biāo)找氦峰時(shí)，不易受其他離子的干擾，因此就降低了對(duì)分析器制造精度的要求，易于加工。真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的原理與系統(tǒng)特點(diǎn)真空箱法氦質(zhì)譜檢漏的充氣回收檢漏系統(tǒng)1．配置與氣路控制真空箱：一般為雙工位，兩個(gè)不銹鋼真空箱，開(kāi)門(mén)裝置可采用液壓方式，或加配重的手動(dòng)方式。同時(shí)，分析器出口電極及離子源加速極的隙縫也可以加大，使更多的氦離子通過(guò)，提高了儀器靈敏度。

5、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氦信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

6.氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

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真空箱氦檢漏基本功能

操作者把工件放在真空箱內(nèi)，將工件接口與真空箱內(nèi)的快速接頭進(jìn)行連接，在真空箱門(mén)關(guān)閉后，系統(tǒng)能全自動(dòng)的完成大漏檢測(cè)、工件強(qiáng)度檢測(cè)、抽空、充氦、檢漏、回收整個(gè)過(guò)程，生產(chǎn)節(jié)拍快，檢漏精度高。工藝流程編輯A1：安裝工件-----關(guān)真空箱門(mén)-----真空箱抽真空，同時(shí)工件內(nèi)充高壓氮?dú)?----大漏及強(qiáng)度檢測(cè)；B1：若A1檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警，大漏工件序號(hào)顯示-----檢測(cè)程序中止；氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有易1爆危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。B2：若A1檢測(cè)通過(guò)，放掉氮?dú)?-----對(duì)工件抽真空------真空箱內(nèi)的氦氣本底抑零-----工件內(nèi)充入氦氣-------真空模式，微漏檢測(cè)；C1：若B2檢測(cè)不通過(guò)，則系統(tǒng)報(bào)警-----循環(huán)檢，小漏工件序號(hào)顯示------檢測(cè)程序中止；C2：若B2檢測(cè)通過(guò)，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開(kāi)門(mén)，檢測(cè)完成。

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檢漏設(shè)備在檢測(cè)時(shí)需要留意的事項(xiàng)

檢漏設(shè)備沒(méi)有被測(cè)物或者是銜接配管的時(shí)分，其實(shí)也便是不要進(jìn)行檢測(cè)。否則的話，它從檢漏儀走漏出的很多壓縮空氣來(lái)講，這樣來(lái)講，其實(shí)也便是會(huì)對(duì)人形成很大的損傷；在走漏測(cè)驗(yàn)完畢的時(shí)分，記住把空氣徹底掃除潔凈之后，其實(shí)也便是要撤除被測(cè)物。

否則的話，檢漏設(shè)備的殘留壓力可能會(huì)形成財(cái)產(chǎn)損失或者是會(huì)使人受傷；檢漏設(shè)備長(zhǎng)期不必的時(shí)分，為了安全起見(jiàn)，必定要把主電源或者是空壓源進(jìn)行堵截。其電源電纜以及其配線和配管破損的時(shí)分，其實(shí)也便是要留意當(dāng)即堵截咱們的主電源與空壓源，這樣其實(shí)也便是要替換它的新配件?？照{(diào)檢漏設(shè)備真空系統(tǒng)檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法，應(yīng)用中需要注意：1、示漏氣體的種類與壓力會(huì)影響檢測(cè)靈敏度。