特種氣體在LED中的應(yīng)用

特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率，并且從根本上制約著電路和器件的性和準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體工業(yè)用氣體品種多、質(zhì)量要求高、用量少，大部分是有毒或腐蝕性氣體。品種高達(dá)百余種。半導(dǎo)體工業(yè)特種氣體應(yīng)用分類，主要包括：

1. 硅族氣體：含硅基的類，如、二氯二氫硅、乙等。

2. 摻雜氣體：含硼、磷、等三族及五族原子之氣體，如三氯化硼、三、磷烷、烷等。

3. 蝕刻清洗氣體：以含鹵化物及鹵碳化合物為主，如、三氟化氮、、四氟化碳、六等。

4. 反應(yīng)氣體：以碳系及氮系氧化物為主，如二氧化碳、氨、氧化亞氮等。

5. 金屬氣相沉積氣體：含鹵化金屬及有機(jī)烷類金屬，如六氟化鎢、基等。

另外還有工業(yè)氣體正在崛起的產(chǎn)業(yè)包括：煤礦滅火、石油開采、玻璃熔化爐、水泥生產(chǎn)窯、耐火材料生產(chǎn)、食品速凍、食品氣袋包裝、保鮮、光學(xué)、工業(yè)中的燃料、超導(dǎo)材料、電子半導(dǎo)體、光纖生產(chǎn)、農(nóng)業(yè)、畜牧業(yè)、魚業(yè)、廢水處理、漂白紙漿、垃圾焚燒等環(huán)保產(chǎn)業(yè)，另外還有建筑、氣象、文化、保護(hù)、體育運(yùn)動(dòng)、破案、保健等都有應(yīng)用，可以說是滲透到了各行各業(yè)當(dāng)中。

工業(yè)氣體增長乏力

波瀾壯闊的2018年已進(jìn)尾聲。在國內(nèi)外經(jīng)濟(jì)挑戰(zhàn)不斷加劇的背景下，工業(yè)氣體也遇到了價(jià)格止步、銷量下滑的困境。然而，許多方面仍然值得我們慶祝，2019年依然值得期待…

但我們也不得不看到，工業(yè)氣體供應(yīng)鏈的遺留問題仍然沒有解決，或者我們?nèi)匀蝗狈鉀Q問題的決心?？蛻糸_發(fā)、供應(yīng)保障和經(jīng)濟(jì)性的交易過程、價(jià)格管控等方面效能、效率低下的問題總是在增長不再，在我們困難的時(shí)候爆發(fā)…

電子氣體的應(yīng)用及類別！

自從半導(dǎo)體問世以來,高純度電子氣體的可靠供應(yīng)在電子行業(yè)是至關(guān)重要的。首先通過不同的氣體流把雜質(zhì)原子引入到半導(dǎo)體材料來生產(chǎn)個(gè)別半導(dǎo)體元件,然后加以混合,再送進(jìn)名為外延生長過程的反應(yīng)容器中。

在制造集成電路的過程中,超過30種不同的電子氣體被用于蝕刻沉積氧化摻雜,和惰性保護(hù)的應(yīng)用。現(xiàn)代晶片電路的嚴(yán)格要求規(guī)定,百萬份數(shù)十億份甚至萬億份的水平的微量雜質(zhì)將導(dǎo)致重大的缺陷,并由于高廢品率導(dǎo)致成本增加。

一個(gè)典型的半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的輔助設(shè)施提供包括以下幾類電子氣體：

?氮?dú)馔ǔ＠梅蛛x空氣在現(xiàn)場生產(chǎn)。它被廣泛使用在許多過程中作為提供惰性環(huán)境或一個(gè)過程完成后的反應(yīng)氣體。

?氧氣也可以在現(xiàn)場生產(chǎn)或以低溫液體交付。它使用于把硅氧化-是所有半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的過程之一。

?氬通常以低溫液體交付，并用于為金屬的濺射沉積提供惰性環(huán)境，因?yàn)榈獨(dú)獾姆磻?yīng)性高而導(dǎo)致形成金屬氮化物。

?氫氣可以在現(xiàn)場生產(chǎn)、以低溫液體或壓縮氣體交付-這取決于消耗速率。它是用于為金屬膜進(jìn)行退火時(shí)提供一種還原環(huán)境。