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?標(biāo)準(zhǔn)氣體的特殊性
標(biāo)準(zhǔn)氣體的特殊性,對(duì)采樣有著特殊的要求,很多使用者由于采樣的不規(guī)范,使得數(shù)據(jù)偏差很大,在這里我提供樣品取樣應(yīng)該注意的方面:取樣管線的選擇,由于膠管使用起來很方便,很多傳統(tǒng)的進(jìn)樣管線都采用此類,但是眾所周知,膠管對(duì)大部分有機(jī)氣體,和含硫類的氣體吸附性非常強(qiáng),而且它的滲透性也很強(qiáng),所以使用各類膠管來采樣是不可取的,對(duì)分析數(shù)據(jù)造成很大偏差。建議根據(jù)不同的氣體性質(zhì)采用銅管、不銹鋼管、四氟管而對(duì)于含硫的標(biāo)準(zhǔn)氣和樣品氣采用內(nèi)涂石英的不銹鋼管。?高純氣體管道的組成
高純氣體管道是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分,是將符合要求的高純氣體送至用氣點(diǎn)仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵 ,包括系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等內(nèi)容。半導(dǎo)體技術(shù)是 20 世紀(jì)以來偉大的也是具有生命活力的技術(shù),半導(dǎo)體制造技術(shù)是貫穿高純氣體的提供、原料硅的提煉 、晶圓的制造 、IC 的封裝和測(cè)試的整個(gè)過程。反映當(dāng)今世界高科技水平的微電子產(chǎn)品,正以、低成本為目標(biāo),高速地向高密度、高集成發(fā)展,對(duì)氣體雜質(zhì)含量限制更加嚴(yán)格 ,相應(yīng) 的高純、高潔凈氣體及其管路的輸配