真空設備檢漏

設備及密封器件的微小漏隙進行定位、定量和定性檢測的專用檢漏儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高、操作簡便，檢測迅速等特點，是在真空檢漏技術中用得普遍的檢漏儀器，

其測量工作原理如下。氦質譜檢漏儀是根據(jù)質譜學原理制成的磁偏轉型的質譜分析計，用氦氣作為示漏檢測氣體制成的氣密性質譜檢漏儀器。氫氣檢漏法的基本原理氫氣檢漏法是一種用5%的氫氣和95%的氮氣的混合氣作為示蹤氣體進行檢漏，稱作氫氮混合氣檢漏法，或氫氣檢漏法。其結構主要由進樣系統(tǒng)、離子源、質量分析器、收集放大器、冷陰極電離真空計等組成。離子源是氣體電離，形成一束具有特定能量的離子。質量分析器是一個均勻的磁場空間，不同離子的質荷比不同，在磁場中就會按照不同軌道半徑運動而進行分離，在設計時只讓氦離子飛出分析器的縫隙，打在收集器上。收集放大器收集氦離子流并送入到電流放大器，通過測量離子流就可知漏率。冷陰極電離真空計指示質譜室的壓力及用作保護裝置。

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真空設備檢漏與維修

隨著壓力容器出口產品的增加及各制造企業(yè)對產品質量的重視，氦質譜檢漏方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏方法（以下簡稱氦檢）以其高靈敏度和準確性而通常應用于整體防漏等級較高的壓力容器上。氫氣檢漏法的優(yōu)勢制冷、空調行業(yè)檢漏技術的現(xiàn)狀：在產品部件生產過程中，目前常使用氦檢漏技術來查找微小的泄漏，而保壓測試和水浴法常被用來檢測較大的泄漏。氦檢方法基本上可分為用氦氣內部加壓法和設備內部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設備完全抽成真空狀態(tài),往往會增加試驗用設備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設備工裝（如外壓加強圈）而使造價提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設備；對于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。

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氦質譜檢漏儀實際上可以說是一個檢氦儀，通過檢測氦氣的含量來確定是否有泄漏。而對氦的檢測則使用的是質譜儀，是只檢測氦的專用質譜儀，這種質譜儀將其它質量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。無論是在漏點定位還是在泄漏測試應用，這種檢漏方法已經(jīng)在各個行業(yè)領域內得到了廣泛使用。質譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動才體現(xiàn)為分子流，質譜儀才能穩(wěn)定正常工作。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。