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公司產(chǎn)品包括石英掩膜版,蘇打掩膜版,以及菲林版。蘇州制版根據(jù)客戶(hù)的構(gòu)想、草圖,定制版圖,蘇州制版提供高質(zhì)量掩膜版以及后期的代加工服務(wù)!
光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外,還廣泛的應(yīng)用與像LCD,PCB等方面。常見(jiàn)的光掩膜的種類(lèi)有四種,鉻版(chrome)、干版,凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分,基板和不透光材料。光刻版在使用過(guò)程中不可避免的會(huì)粘上灰塵、光刻膠等污染物,這些污染物的存在直接影響到光刻的效果?;逋ǔJ歉呒兌龋头瓷渎?,低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過(guò)濺射的方法鍍?cè)诓A路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小,雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。
一種具有保護(hù)環(huán)的光刻板,包括光刻板本體和設(shè)置在光刻板本體外圈的保護(hù)環(huán),所述保護(hù)環(huán)緊密?chē)诠饪贪灞倔w的外部邊緣處并將內(nèi)部的光刻板本體圍起,所述保護(hù)環(huán)上具有圓型開(kāi)孔、直角型開(kāi)孔與直線(xiàn)型開(kāi)孔,所述直角型開(kāi)孔設(shè)置在光刻板本體的轉(zhuǎn)角處,所述直線(xiàn)型開(kāi)孔設(shè)置在光刻板本體的水平邊緣與豎直邊緣,所述圓型開(kāi)孔設(shè)置在直角型開(kāi)孔與直線(xiàn)型開(kāi)孔的連接處。光掩模板或者光罩,曝光過(guò)程中的原始圖形的載體,通過(guò)曝光過(guò)程,這些圖形的信息將被傳遞到芯片上。
光刻掩膜版材質(zhì)可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)等。其中石英掩膜版和蘇打掩膜版為高校和科研院所光刻時(shí)所常用的光刻掩膜版。
石英掩膜版
使用石英玻璃為基板材料,光學(xué)透過(guò)率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整和耐磨,使用壽命長(zhǎng),主要用于掩膜版
使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過(guò)率較高,熱膨脹率相對(duì)高于石英玻璃,平整度和耐磨性相對(duì)弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版