12月24日，中國儀器儀表學(xué)會“科學(xué)技術(shù)獎”頒獎儀式在杭州舉行，中圖儀器申報的“基于熱穩(wěn)頻控制的高精度多參量激光干涉儀研制與產(chǎn)業(yè)化”項目榮獲2020年中國儀器儀表學(xué)會科技進步二等獎。

       中國儀器儀表學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎是經(jīng)國家科技部批準(zhǔn)，在國家科技獎勵主管部門注冊，經(jīng)國家科學(xué)技術(shù)獎勵工作辦公室頒證，由中國儀器儀表學(xué)會設(shè)立的面向全國儀器儀表領(lǐng)域的綜合性獎項，表彰在儀器儀表科技工作中做出突出貢獻的單位和個人，鼓勵自主創(chuàng)新、團結(jié)協(xié)作，促進科學(xué)研究、技術(shù)開發(fā)與社會發(fā)展密切結(jié)合，促進科技成果轉(zhuǎn)化，提高我國儀器儀表的綜合實力和水平。

本項目SJ6000激光干涉儀具有完整的自主知識產(chǎn)權(quán)，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm,**測量距離80米，技術(shù)指標(biāo)達到國際先進水平。

SJ6000激光干涉儀可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等多幾何參量的高精密測量，用于檢測數(shù)控機床、自動化設(shè)備、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等，以及進行數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機的精度補償。

SJ6000激光干涉儀滿足了我國各級計量院所、高端精密加工制造、先進數(shù)控機床、精密儀器等領(lǐng)域在高精度和大量程長度測量方面的需求，提升了我國自主的高精密激光測量水平和高端計量檢定裝備的水平。

不忘鑄器初心，牢記圖強使命，中圖儀器持續(xù)投資研發(fā)極小和極大尺寸的ODS超精密光學(xué)儀器，為3C電子、泛半導(dǎo)體業(yè)和大型裝備制造業(yè)提供自主可控的關(guān)鍵技術(shù)設(shè)備。