Parylene的真空氣相沉積工藝

Parylene的真空氣相沉積工藝不僅和微電子集成電路制作工藝相似，而且所制備的Parylene涂層介電常數(shù)也低，還能用微電子加工工藝進(jìn)行刻蝕制圖，進(jìn)行再金屬化，因此Parylene不僅可用作防護(hù)材料，而且也能作為結(jié)構(gòu)層中的介電材料和掩膜材料使用，經(jīng)Parylene涂敷過的集成電路芯片，其25um細(xì)直徑連接線，連接強(qiáng)度可提高5-10倍。 Parylene能在0.2um厚時(shí)就完全沒有，5um時(shí)就能耐1000V以上直流擊穿電壓，又是摩擦系數(shù)很低的一種自潤滑材料，化學(xué)惰性和阻隔性能也好，因此在微電子機(jī)械系統(tǒng)中，除了作電介質(zhì)材料外，還用作微型傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和微型閥門的結(jié)構(gòu)材料和防護(hù)材料。

派瑞林材料核心的優(yōu)勢(shì)是什么？

那還得從機(jī)理來說，派瑞林有機(jī)涂層是通過活性單體氣相沉積聚合制備的，單體的氣相沉積與涂層的形成是同時(shí)進(jìn)行，沒有中間的液體過渡態(tài)。因此，正如其開發(fā)公司美國Union Carbide Co.宣傳的一般，派瑞林涂層擁有0.1-100微米的超薄均勻的涂覆能力和有優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性，是當(dāng)代有效的防潮、防霉、防腐、防鹽霧涂層材料。

Parylene真空涂敷技術(shù)

　 Parylene真空涂敷技術(shù)有優(yōu)異的電性能，介電性能和低的介質(zhì)損耗及高的介電強(qiáng)度。同時(shí)它還具有優(yōu)良的機(jī)械性能，高的機(jī)械強(qiáng)度和低的摩擦系數(shù)，它不僅能提供絕緣而且也能消除摩擦引起的繞線時(shí)對(duì)線的損傷。Parylene涂層較薄且厚度均勻使繞線器件能保持繞線窗，并在棱角處有足夠的涂層厚度，使性能參數(shù)極大的提高。明顯優(yōu)于刷涂,浸涂,噴涂等其它涂敷技術(shù)。它的先進(jìn)性主要是氣相單體直接形成固體涂層而沒有液態(tài)的過程。涂層是從基材的表面向外?生長?，形成一個(gè)均勻厚度涂層，在1微米以下時(shí)也是無的。又由于Parylene涂層是在室溫下形成的，因此可以防止固化時(shí)由熱膨脹引起的應(yīng)力問題。

      Parylene可以改變橡膠制品的表面特性，改變橡膠制品的摩擦性能、觸感、耐化學(xué)藥品溶脹、耐靜穿性能等。

       硅橡膠經(jīng)Parylene Coating后可以在硅膠按鍵產(chǎn)品的表面形成的一種均勻而極薄（2-3 μm）、且與原產(chǎn)品表面輪廓相同的聚合物保護(hù)層。經(jīng)過Parylene后的產(chǎn)品，具有良好的屏障特性、光學(xué)性能、熱性能以及良好的抗磨擦能力，使用壽命延長。

       我司服務(wù)區(qū)域遍布珠三角，長三角，東南亞地區(qū)。我司多年從事真空鍍膜，表面涂裝處理工藝，有著Parylene涂裝技術(shù)和設(shè)備開發(fā)能力，市場涵蓋海內(nèi)外幾大品牌電子電器的PCBA零部件、LED、及各種線路板防水（IP68）、防潮、防腐蝕、防鹽霧、防紫外線的真空涂層處理。