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潔凈廠房的竣工驗(yàn)收合格,并經(jīng)核實(shí)批準(zhǔn)后,按要求進(jìn)行功能驗(yàn)收,功能驗(yàn)收是在“靜態(tài)”進(jìn)行測(cè)試,其主要測(cè)試內(nèi)容如下:
潔凈廠房使用驗(yàn)收后,應(yīng)編寫使用驗(yàn)收?qǐng)?bào)告,其主要內(nèi)容有:
1 潔凈廠房中各種設(shè)施(包括生產(chǎn)工藝設(shè)備)等的開(kāi)啟狀態(tài)描述;
2 測(cè)試的潔凈室(區(qū))人員及其活動(dòng)情況的描述;
3 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見(jiàn)(包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等);
4 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書;
5 驗(yàn)收出具相關(guān)結(jié)論。
無(wú)塵潔凈室內(nèi)一定潔凈度下氣流速度的確定,隨潔凈室用途等具體情況而異,它不僅受室內(nèi)發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響,就工業(yè)潔凈室而言,影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是:
(1)室內(nèi)污染源:建筑物組件、人員數(shù)量及操作活動(dòng)、工藝設(shè)備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源,根據(jù)具體情況而異,變化很大;
(2)室內(nèi)氣流流型及分布:?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線,但會(huì)受到工藝設(shè)備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合,避免死角及溫度分層。
無(wú)塵車間按照等級(jí)劃分標(biāo)準(zhǔn),主要可以分為百級(jí)無(wú)塵車間、千級(jí)無(wú)塵車間、萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車間、十萬(wàn)無(wú)塵車間等好幾種等級(jí),那么你知道什么叫千級(jí)無(wú)塵車間嗎?2萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室5微米的灰塵顆粒小于60萬(wàn)個(gè),千級(jí)無(wú)塵室5微米的灰塵顆粒小于5萬(wàn)個(gè)。
微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱級(jí)別中的千級(jí)無(wú)塵車間。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A1級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。裝配式無(wú)塵車間廠房的全部維修工廠內(nèi)按統(tǒng)一模數(shù)及系列加工完成。1、1級(jí):級(jí)的無(wú)塵車間主要用于制造集成電路的微電子工業(yè),對(duì)集成電路的精1確要求為亞微米。