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流量控制器的工作原理
流量控制器(流量計)利用流動流體傳遞熱量改變測量毛細管壁溫度分布的熱傳導分布效應而制成,即熱分布式流量計(Thermal Profile Flowmeter)。 采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量,可以不受溫度壓力的影響。將傳感器測得的流量信號進行放大,然后與設定的電壓進行比較,用所得的差值信號放大去驅動控制調節(jié)閥門。通過實時的流量檢測閉環(huán),去控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
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質量流量控制器簡介
質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC),它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。
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