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無塵凈化車間需要注意的細節(jié)問題:風(fēng)管要求經(jīng)濟與效率并重,在無塵車間工程集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價格低廉,方便施工,運行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。為確保無塵凈化車間工程潔凈廠房的正常生產(chǎn)和工作,應(yīng)設(shè)置一套較完整的自控裝置,實現(xiàn)以下功能:潔凈室空氣潔凈度、溫濕度、壓差監(jiān)控、風(fēng)閥調(diào)節(jié)、高純氣體、純水和循環(huán)冷卻水的溫度、壓力、流量的檢測、氣體純度、純水水質(zhì)的監(jiān)測等。凈化車間FFU控制方式的選擇:多檔開關(guān)控制系統(tǒng):此系統(tǒng)只包括FFU自帶的一個調(diào)速開關(guān)和一個電源開關(guān)。由于控制元件為FFU自帶,分布在潔凈室吊頂內(nèi)的各個位置,工作人員必須在現(xiàn)場通過撥擋開關(guān)來調(diào)節(jié)FFU,控制起來極不方便,而且FFU的風(fēng)速可調(diào)范圍有限,于幾檔。采用多檔開關(guān)控制方式優(yōu)點是控制簡單、成本低,但存在許多缺陷,比如能耗大、不能平滑調(diào)速、沒有反饋信號、不能實現(xiàn)靈活的組群1控制等。
由于無塵凈化車間的平面和空間布置特殊,在進行各項技術(shù)設(shè)施的系統(tǒng)設(shè)計、設(shè)備配置時應(yīng)特別注意按規(guī)定選用符合要求的系統(tǒng)和設(shè)備。凈化車間FFU控制方式的選擇:多檔開關(guān)控制系統(tǒng):此系統(tǒng)只包括FFU自帶的一個調(diào)速開關(guān)和一個電源開關(guān)。由于控制元件為FFU自帶,分布在潔凈室吊頂內(nèi)的各個位置,工作人員必須在現(xiàn)場通過撥擋開關(guān)來調(diào)節(jié)FFU,控制起來極不方便,而且FFU的風(fēng)速可調(diào)范圍有限,于幾檔。采用多檔開關(guān)控制方式優(yōu)點是控制簡單、成本低,但存在許多缺陷,比如能耗大、不能平滑調(diào)速、沒有反饋信號、不能實現(xiàn)靈活的組群1控制等。凈化車間門窗縫隙的處理一般來說,凈化車間門窗大都共同具有三類構(gòu)造縫隙。一類是樘的組合拼接和樘與凈化車間門洞間的安裝縫隙;二類是樘與開啟扇之間的搭接縫隙;三類是玻璃或其他芯板的安裝縫隙。通常所提的凈化車間門的空氣泄漏無非是由上述三種縫隙產(chǎn)生的問題。
比如說在微電子工作的芯片出產(chǎn)過程中,對微粒的控制要抵達分子級,該工作對出產(chǎn)環(huán)境要求非??量?,如不滿意出產(chǎn)的環(huán)境需求就無法進行出產(chǎn),或者說出產(chǎn)出來的產(chǎn)品都是報廢品,無法運用。無塵凈化車間需要注意的細節(jié)問題:風(fēng)管要求經(jīng)濟與效率并重,在無塵車間工程集中或凈化空調(diào)系統(tǒng)中,對風(fēng)管的要求是既經(jīng)濟又能有效地送風(fēng)。前者要求體現(xiàn)在價格低廉,方便施工,運行成本,內(nèi)表面光滑阻力小。后者是指嚴密性好,不漏氣,不發(fā)塵,不積塵,不污染,可耐火、耐腐蝕、耐潮濕。負壓密封,F(xiàn)FU送風(fēng)系統(tǒng)的靜壓箱為負壓,因此即使風(fēng)口安裝存在泄漏,也是從凈化車間向靜壓箱泄漏,不會形成對凈化車間的污染。