隨著國產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。

  特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國家占據(jù)較好的地位。

 特種氣體 specialily gas：用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期，天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù)，以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力，然后再填充特種氣體。

 目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小。跨國企業(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。有專用氣體倉庫貯存。氣瓶倉庫應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽光直射, 氣瓶庫應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。