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發(fā)布時(shí)間:2021-08-04 07:08  






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高純鎢及其硅化物用于超大規(guī)模集成電路作為電阻層、擴(kuò)散阻擋層等以及在金屬氧化物半導(dǎo)體型晶體管中作為門材料及連接材料等  。鎢,一種金屬元素。原子序數(shù)74,原子量183.84。鋼灰色或銀白色,硬度高,熔點(diǎn)高,常溫下不受空氣侵蝕;高純鎢中痕量元素的測定是評價(jià)高純鎢性能的重要標(biāo)準(zhǔn),降低痕量元素的測定下限和增加痕量元素的測定數(shù)目,提高測量的靈敏度是高純鎢檢測工藝的主要攻關(guān)方向。主要用途為制造燈絲和高速切削合金鋼、超硬模具,也用于光學(xué)儀器,化學(xué)儀器。



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如何將各個(gè)工藝有機(jī)結(jié)合成功制備出高純鎢成為研究熱點(diǎn)與難點(diǎn)。我國是W資源大國,應(yīng)充分發(fā)揮其產(chǎn)業(yè)優(yōu)勢。微電子和核技術(shù)的發(fā)展勢不可擋,高純鎢是其應(yīng)用的重要原料;隨著科學(xué)技術(shù)的鎢進(jìn)步與冶金工藝、設(shè)備和分析檢測技術(shù)的發(fā)展以及稀有金屬生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大,使得鎢的純度不斷提高,性能不斷改進(jìn),品種不斷增多,從而擴(kuò)大了鎢的應(yīng)用領(lǐng)域。如何改進(jìn)提純工藝,制備出性能更加優(yōu)異的高純鎢及其相關(guān)產(chǎn)品,實(shí)現(xiàn)其工業(yè)化是今后的發(fā)展方向  。


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鎢是一種有色金屬。通常人們根據(jù)金屬的顏色和性質(zhì)把金屬分成兩大類:黑色金屬和有色金屬。黑色金屬主要指鐵、錳、鉻及其合金,如鋼、生鐵、鐵合金、鑄鐵等。黑色金屬以外的金屬稱為有色金屬。鎢則屬于有色金屬范疇。有色合金的強(qiáng)度和硬度一般比純金屬高,電阻比純金 屬大,電阻溫度系數(shù)小,具有良好的綜合機(jī)械性能。因此,作為一種有色金屬,鎢的強(qiáng)度和硬度非常高。由于這種特性,具有硬度高、耐磨性強(qiáng)的鎢硬質(zhì)合金被大規(guī)模應(yīng)用于切削工具、礦山工具中。35克/每立方厘米,屬于元素周期表中第六周期(第二長周期)的VIB族。


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