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熱場是高溫爐的核心部分,熱場的主要組成之一是工件承載爐床和隔熱部件,其制作材料主要是金屬鉬和石墨,雖然相較于石墨而言,鉬爐床可以重量更輕,但是在長期的并且循環(huán)往復(fù)的熱環(huán)境之中,鉬制的爐床會產(chǎn)生一定程度的變形,雖然石墨爐床重量大一點,因為導(dǎo)熱性優(yōu)良和抗熱震,卻不會產(chǎn)生熱變形,石墨要考慮的是高溫環(huán)境下出現(xiàn)的固體共熔現(xiàn)象,換句話說,爐床的原材料和工件的原材料在高溫下有時候會出現(xiàn)共熔現(xiàn)象。多晶鑄錠爐熱場的相關(guān)企業(yè)與體系,將3D圖紙上傳至云工廠的主動報價體系,體系1分鐘快速給出報價。
由于石墨件在熱場中所起的作用各不相同,對其所用的材質(zhì)也必然會有所不同。通常電極、連桿、加熱器、加熱器螺絲、石墨坩堝、導(dǎo)流筒、導(dǎo)流筒支撐環(huán)、保溫筒,這些部件都應(yīng)選用等靜壓生產(chǎn)的細結(jié)構(gòu)高強度的石墨材料來加工,這樣才能滿足生產(chǎn)的實際需要。
在單晶硅的生產(chǎn)中常常會發(fā)現(xiàn)石墨件的使用壽命往往比預(yù)計的壽命要短的多,由于過多地更換石墨器件增加了石墨煅燒的次數(shù)和電能的消耗,除增加了企業(yè)生產(chǎn)成本的同時還制約了產(chǎn)能的有效發(fā)揮。
1)一般應(yīng)根據(jù)石墨模具的工作條件、生產(chǎn)批量及材料本身的強韌化性能,盡量選擇品質(zhì)好的石墨模具鋼材料。
2)改進鍛造工藝或采用正火預(yù)備熱處理,石墨制品來消除原材料中網(wǎng)狀和鏈狀碳化物及碳化物的不均勻性。
3)對無法進行鍛造的碳化物偏析嚴重的高碳石墨模具鋼可進行固溶細化熱處理。
4)對鍛造后的模坯制定正確的球化退火工藝規(guī)范,可采用調(diào)質(zhì)熱處理和快速勻細球化退火工。
5)合理裝爐,保證爐內(nèi)模坯溫度的均勻性。