半導體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法

現(xiàn)今社會，無塵凈化車間的裝修被很多生產(chǎn)型企業(yè)所重視，無塵凈化車間不僅能對產(chǎn)品的精度、質(zhì)量、穩(wěn)定性及成功率等都有顯著的作用，同時還能在一定情況下保證工作人員的工作安全。對酸性氣體、堿性氣體的處理一般都采用濕式洗滌塔技術(shù)。對于有機廢氣采用吸附、焚燒或兩者相結(jié)合的處理辦法。因為半導體工藝過程中有機廢氣具有排放流量大（通常大于11039m3/小時）和濃度低（通常小于25ppmv）的特點，使用其他的處理技術(shù)難以達到令人滿意的處理效率。沸石濃縮轉(zhuǎn)輪后再吸附或焚燒。

潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應(yīng)選用氣密性良好

潔凈區(qū)內(nèi)的室內(nèi)裝修應(yīng)選用氣密性良好，且在溫度和濕度變化的作用下變形小的材料。潔凈室墻壁和頂棚的表面應(yīng)無裂縫、光潔、平整、不起灰、不落灰塵、耐腐蝕、耐沖擊、易清洗、避免眩光（如采用瓷釉漆涂層墻面和金屬隔熱夾芯板），陰陽角均宜做成圓角，以減少灰塵積聚和便于清洗。潔凈室地面尖整體好，平整、無縫隙、耐磨、耐腐蝕、耐撞擊、不易積靜電、易除塵清洗（如采用環(huán)氧自流平整地坪或現(xiàn)澆水磨石地面）。