湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

其基本爐型有罩式、井式、臥式，但是通常以罩式為常見。轟擊表面的一部分氮奪取電子后直接滲人工件表面，在工件表面上形成含氮很高的呈蒸發(fā)狀態(tài)的Fe，并不斷向工件內(nèi)部擴(kuò)散，從而達(dá)到滲氮的目的。

離子滲氮是在低真空含氮?dú)夥罩校媚＞撸帢O）和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。由于離子氮化法不是依靠化學(xué)反應(yīng)作用，而是利用離子化了的含氮?dú)怏w進(jìn)行氮化處理，所以工作環(huán)境十分清潔而無需防止公害的特別沒備。離子滲氮是在低真空含氮?dú)夥罩?，利用模具（陰極）和陽極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。因而，離子氮化法也被稱作“綠色”氮化法。

輝光放電的主要應(yīng)用是利用其發(fā)光效應(yīng)（如霓虹燈、日光燈）以及正常輝光放電的穩(wěn)壓效應(yīng)。?電容耦合型射頻(RF)放電電極自給偏壓的形成，可以防止絕緣層表面正電荷的積累，有助于射頻放電的維持。在陰-陽極間加上直流電壓時(shí)，腔體內(nèi)工作氣體中剩余的電子和離子在電場(chǎng)的作用下作定向運(yùn)動(dòng)，于是電流從零開始增加；當(dāng)極間電壓足夠大時(shí)，所有的帶電離子都可以到達(dá)各自電極，這時(shí)電流達(dá)到某一1大值(即飽和值);??

在運(yùn)行的射頻輝光放電等離子體中，由于離子和電子遷移率的不同將導(dǎo)致陰極負(fù)偏壓的形成，在陰極表面建立一個(gè)直流負(fù)偏壓是進(jìn)行射頻濺射工藝的必要條件。兩個(gè)面積相等的電極置于射頻輝光放電等離子體中，不可能建立陰極靶表面的負(fù)偏壓，不可能產(chǎn)生濺射。