在金屬晶粒中可產(chǎn)生更均勻、更微小，且?guī)в懈竺芏鹊奈⑿〔牧辖M織；

由于有附加微碳化物粒子和更細密的晶格，故導致了更密集的分子結構，使材料內(nèi)部微小的空洞被大大減少；

材料經(jīng)超低溫處理后內(nèi)部熱應力和機械應力大為降低，從而有效地減少了造成工具和刀具產(chǎn)生裂紋、崩刃的可能性。此外，由于刀具中的殘余應力影響切削刃吸收動能的能力，經(jīng)過超低溫處理的刀具不僅具有較高的抗磨性，而且其自身的殘余應力的危害也比未經(jīng)處理的刀具大大降低；

在被處理的硬質(zhì)合金中，由于其電子動能的減少而使分子結構產(chǎn)生新的組合。

1、完全消除了加熱過程中工件表面的氧化、脫碳，可獲得無變質(zhì)層的清潔表面。這對于那些在刃磨時僅磨一面的刀具（如麻花鉆磨削后使溝槽表面的脫碳層直接暴露于刃口、切削性能的改善關系極大。

2、對環(huán)境無污染，不需進行三廢處理。

3、爐溫測定、監(jiān)控精度明顯提高。熱電偶的指示值與爐溫溫度達到±1.5°c。但爐內(nèi)大批工件不同部位的溫差較大，若采用稀薄氣體強制循環(huán)，仍可控制在±5°c溫差范圍內(nèi)。

真空滲碳比可控氣氛爐滲碳的產(chǎn)品質(zhì)量好，對于要控制淬火變形的齒輪滲碳，在用可控氣氛爐滲碳后需要用淬火壓床進行邊淬火邊矯正，其質(zhì)量有時還達不到技術要求，況且滲碳層的滲層和碳濃度分布均勻性較難得到保證，經(jīng)常會出現(xiàn)內(nèi)氧化現(xiàn)象，造成非馬氏體黑色組織的出現(xiàn)，生產(chǎn)率有時也會受到影響，所以對于質(zhì)量要求較高的摩托車、汽車減速器、汽車發(fā)動機等部件內(nèi)的中小型齒輪及齒輪軸等工件的滲碳。