特種氣體：氦氣

氦氣具有化學(xué)惰性，常被用做半導(dǎo)體工業(yè)的保護(hù)氣和科學(xué)實(shí)驗(yàn)中的載體氣。氦氣可以隔絕氧氣，避免電焊工件、單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。目前，保護(hù)氣已成為氦氣的第二大應(yīng)用領(lǐng)域。在氣相色譜中，氦氣作為載體氣可運(yùn)送被測(cè)氣體且不與其發(fā)生反應(yīng)。

 氦氣分子1小，使其穿透能力強(qiáng)、密度1小，被用做管道檢漏，可解決單純依靠聲波檢測(cè)技術(shù)無法解決的問題，對(duì)深埋管道或擁有保溫層防腐層的熱力、輸油、輸氣管道，特別是低壓運(yùn)行的管道，有明顯的檢測(cè)效果。

特種氣體系統(tǒng)：簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

特種氣體管道的施工

特種氣體管道的施工采用全自動(dòng)軌道焊接，同時(shí)制定和實(shí)施嚴(yán)格的超高純施工和QA/QC保證程序，對(duì)施工的質(zhì)量和程序進(jìn)行嚴(yán)格的監(jiān)控和管理。后整個(gè)系統(tǒng)還要進(jìn)行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測(cè)、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測(cè)試。

預(yù)制間的選擇

特種氣體管道的施工對(duì)環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預(yù)制然后現(xiàn)場(chǎng) 安裝的方法。按照標(biāo)準(zhǔn)，預(yù)制作業(yè)需要在潔凈度達(dá)到百級(jí)的凈化間進(jìn)行，作業(yè)人員也按照百級(jí)凈化間的管理著裝。因此對(duì)于特氣項(xiàng)目，一般都建有一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的預(yù)制間。

特種氣體的殺菌

安全與環(huán)保

　　1.制定完善的經(jīng)驗(yàn)證可行的滅菌工藝方案以及環(huán)氧乙1烷存放、收發(fā)制度，專人持證上崗，嚴(yán)格按照操作規(guī)程運(yùn)行

　　2. 環(huán)氧乙1烷儲(chǔ)存應(yīng)與滅菌生產(chǎn)隔離開來，應(yīng)設(shè)有防爆墻，儲(chǔ)存室陰涼、通風(fēng)、防曬，有易1燃、易1爆、有毒標(biāo)志，并配備消防器材。

　　3.滅菌車間周圍30-50米內(nèi)不得有明火作業(yè)、變電設(shè)備及其他可發(fā)生火花的設(shè)備或操作