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發(fā)布時(shí)間:2020-10-20 18:05  






PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)介紹

PLD是將脈沖激光透過(guò)合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上,靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài),然后被堆積到設(shè)在對(duì)面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準(zhǔn)穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。

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脈沖激光沉積發(fā)展前景

由脈沖激光沉積技術(shù)的原理、特點(diǎn)可知,它是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ谋∧ぶ苽浼夹g(shù)。隨著輔助設(shè)備和工藝的進(jìn)一步優(yōu)化,將在半導(dǎo)體薄膜、超晶格、超導(dǎo)、生物涂層等功能薄膜的制備方面發(fā)揮重要的作用;并能加快薄膜生長(zhǎng)機(jī)理的研究和提高薄膜的應(yīng)用水平,加速材料科學(xué)和凝聚態(tài)物理學(xué)的研究進(jìn)程。脈沖激光沉積簡(jiǎn)介脈沖激光沉積,就是將激光聚焦于靶材上一個(gè)較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運(yùn)動(dòng),進(jìn)而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。同時(shí)也為新型薄膜的制備提供了一種行之有效的方法。

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