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金剛線切割技術(shù)
金剛線切割技術(shù)也被稱為固結(jié)磨料切割技術(shù)。它是利用電鍍或樹脂粘結(jié)的方法將金剛石磨料附著在鋼線表面,將金剛線直接作用于硅棒或硅錠表面產(chǎn)生磨削,達到切割的效果。
金剛線切割具有切割速度快,切割精度高,材料損耗低等特點。切割線的技術(shù)突破是硅片加工成本下降的重要途徑。金剛石線切割速度是普通鋼線的2 倍,因此單位產(chǎn)量的折舊、人工和能源成本將降低一半。
金剛石線鋸切割
電鍍金剛石線鋸是用電鍍的方法在金屬絲(線) (基體) 上沉積一層金屬(一般為鎳及鎳鈷合金) 并在沉積的金屬內(nèi)固結(jié)金剛石磨料制成的一種線性超硬材料工具。
與內(nèi)圓切割片、金剛石帶鋸、游離磨料多線切割相比較,金剛石線鋸切割顯現(xiàn)出一系列優(yōu)點:加工表面損傷小、撓曲變形小,片厚一致性好,可隨意改變切割方向,精度佳,,壽命長等。因此,越來越受到人們的關(guān)注。
高速切割設(shè)備
切割行程的設(shè)置:
切割行程=樣品的長度 5mm。為保證將樣品切斷,通常會在樣品的實際高度之上增加5㎜。當(dāng)要求對樣品進行開槽時,實際切割行程應(yīng)與開槽深度相同,為保證停止切割時所開槽口深度達到要求,當(dāng)切割行程達到設(shè)定行程時應(yīng)暫停切割,但主軸帶動金剛石切割線繼續(xù)運行一段時間,從而使樣品未達到切割深度的位置繼續(xù)被切割,直到樣品被切割部位每一點都達到所要求的切割深度。切割后的金屬表面沒有露最原始的金屬,而是覆蓋一層氧化皮,若想觀察原始金屬層,需先將金屬表面的氧化皮磨掉,否則影響整個樣品表面的形態(tài)。