在真空設備漏情況的檢查之中也有專業(yè)的儀器保證了檢查效果的穩(wěn)定性，而且這種氦質(zhì)譜檢漏儀系統(tǒng)中的精準的線路檢測能力得到了更好的提升，檢漏儀噴氦法一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴氦。的檢漏儀器應用讓我國許多設備的運轉情況得到了更好的監(jiān)控，特別是在一些真空設備的質(zhì)量檢驗之中，應用氦質(zhì)譜檢漏儀已經(jīng)成為了一種常見的事項，

檢漏儀檢漏范圍寬：現(xiàn)今生產(chǎn)的四極檢漏儀，質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。吸氦法主要用于檢查某些大型密封容器。如彈體、彈頭、氣罐、油罐等,先將容器抽真空,再給容器充入氦氣(為了節(jié)省用氦量,可以用低濃度氦氣) 氦分子在儀器高真空的環(huán)境中擴散的速度很高;所以氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領域里得到廣泛的應用,

在一般工業(yè)領域里原子能、發(fā)電廠、配電站、合成氨的氮肥生產(chǎn)廠、汽車制造業(yè)、造船工業(yè)、制冷工業(yè)、冶金工業(yè)、輸氣管道、氣罐、油罐、鍋爐快餐食品包裝等都離不開檢漏問題,氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標準漏孔，可將標準漏孔拆卸進行校準，如果不能單獨校準標準漏孔，就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準。檢漏儀噴氦法一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴氦。

檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導體器件的檢漏，提供了有利條件。檢漏儀噴氦法一般用于檢測體積相對較小的部件,將被檢器件和儀器連通,在抽好真空后,在被檢器件可能存在漏孔的地方(如密封接頭,焊縫等) 用噴氦。在對產(chǎn)品進行研發(fā)時以更高的度和產(chǎn)品能力，確保這種設備能夠的反映真實露的狀態(tài)，因此氦質(zhì)譜檢漏儀這種強的檢測能力促使，該種產(chǎn)品在我國更多真空設備的檢查之中得到了廣泛的應用；