氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

正常運(yùn)行時(shí)，空氣經(jīng)過漏點(diǎn)被吸入凝汽器后被真空泵抽出，排至大氣。試驗(yàn)時(shí)在真空泵入口的空氣管上接一根軟管至氦質(zhì)譜檢漏儀，在真空系統(tǒng)的漏點(diǎn)處噴氦氣，由于氦質(zhì)譜檢漏儀工作時(shí)能形成比水環(huán)式真空泵更高的真空，因此，漏入真空泵入口管上氦氣與空氣的混合元體，有一部分被吸入到氦質(zhì)譜檢漏儀，由于氦分子質(zhì)量與其他分子質(zhì)量不一樣，通過磁場(chǎng)產(chǎn)生的偏轉(zhuǎn)磁力不一樣，氦質(zhì)譜檢漏儀上設(shè)計(jì)有一狹縫，剛好使氦分子通過而其他分子無法通過，這樣，通過狹縫后的氦分子打在收集板上，通過靶板計(jì)數(shù)，即可知道通過的分子數(shù)泄漏量的相對(duì)大小。

氦質(zhì)譜檢漏儀示蹤氣體選擇

對(duì)示蹤氣體的要求：氦質(zhì)譜檢漏儀都用氦氣(He)作為示蹤氣體，也有用氫氣(H2)作為示蹤氣體的質(zhì)譜檢漏儀器。

氫和氦都是比較理想的示蹤氣體：空氣中的含量少，質(zhì)量輕，運(yùn)動(dòng)速度快，同等條件下，直線運(yùn)動(dòng)距離長(zhǎng)。實(shí)際使用中，也相對(duì)比較容易獲取，可以大量使用。但氫氣在使用中有一定的安全問題，所以實(shí)際大部分檢漏使用的是氦氣。質(zhì)譜檢漏儀器示蹤氣體一般具有以下特點(diǎn)：

1、無害，不能對(duì)人體或環(huán)境造成傷害。

2、質(zhì)量輕，惰性氣體，能穿透微小細(xì)縫。

3、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定，不會(huì)起化學(xué)反應(yīng)。

4、Z好是只有在空氣中含量盡可能少的氣體，才能滿足檢漏靈敏度方面的要求。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成。

氦質(zhì)譜檢漏儀分析器的出口電極一般采用三柵結(jié)構(gòu)。在離子收集極前面有三個(gè)柵極G1、G2、G3。G1和G3接地，中間柵極G2與離化室相連。G1柵的狹縫決定了氦離子的運(yùn)動(dòng)半徑，而使除氦以外的其他離子打不到收集極上去。中間柵極G2的正電位對(duì)于正離子而言相當(dāng)于一個(gè)拒斥電場(chǎng)，只有具有一定能量的氦離子才能通過G2的狹縫，而由于碰撞失去能量的其他雜散離子即使進(jìn)入G1狹縫，也不能通過G2狹縫到達(dá)收集極，使收集極的氦離子流不受這些雜散離子的干擾。柵極G3是抑制離子在收集極上打出的二次電子不跑向G2，使它仍返回收集極，以防離子流的不穩(wěn)定。

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有哪些

氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種，一種為常規(guī)檢漏，另一種為逆擴(kuò)散檢漏。

逆擴(kuò)散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端，漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測(cè)。這一檢漏方式是基于分子泵對(duì)不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比（氣體在分子泵出氣口壓強(qiáng)與進(jìn)氣口壓強(qiáng)之比）即利用不同氣體的逆擴(kuò)散程度不同程度而設(shè)計(jì)的。

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

逆擴(kuò)散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強(qiáng)較高，氦質(zhì)譜檢漏儀可達(dá)1000Pa（一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下），適合檢大型容器或有大漏的器件，也適合吸槍檢漏。逆擴(kuò)散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染，燈絲壽命長(zhǎng)等優(yōu)點(diǎn)。