磁控濺射是為了在低氣壓下進行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率的方法。

工作原理

　　磁控濺射的工作原理是指電子在電場E的作用下，在飛向基片過程中與原子發(fā)生碰撞，使其電離產(chǎn)生出Ar 和新的電子；新電子飛向基片，Ar 在電場作用下加速飛向陰極靶，并以高能量轟擊靶表面，使靶材發(fā)生濺射。增加平衡軸（如上圖中間位置所示部件）也是這些辦法其中之一，簡單說平衡軸其實就是一個裝有偏心重塊并隨曲軸同步旋轉(zhuǎn)的軸，利用偏心重塊所產(chǎn)生的反向振動力，使發(fā)動機獲得良好的平衡效果，降低發(fā)動機振動。在濺射粒子中，中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜，而產(chǎn)生的二次電子會受到電場和磁場作用，產(chǎn)生E（電場）×B（磁場）所指的方向漂移，簡稱E×B漂移，其運動軌跡近似于一條擺線。若為環(huán)形磁場，則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運動，它們的運動路徑不僅很長，而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar 來轟擊靶材，從而實現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加，

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二次電子的能量消耗殆盡，逐漸遠離靶表面，并在電場E的作用下終沉積在基片上。由于該電子的能量很低，傳遞給基片的能量很小，致使基片溫升較低。

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   早一批采用雙頂置凸輪軸設(shè)計的發(fā)動機分別是由菲亞特（Fiat，于1912年）、標致（于1913年）、阿爾法·羅密歐（于1914年）設(shè)計制造的。其中后兩者還采用了每缸四氣門的設(shè)計。在后來的阿爾法·羅密歐6C（1925年）、瑪莎拉蒂蒂波26（Maserati Tipo 26，1926年）、布加迪51型（Bugatti Type 51，1931年）以及早期的奧迪（Audi）等車上也采用了這一技術(shù)。薄膜混合集成電路適用于各種電路，特別是要求精度高、穩(wěn)定性能好的模擬電路。此外，早期采用每缸兩氣門技術(shù)的法拉利（Ferrari）大多使用了雙頂置凸輪軸。

   當雙頂置凸輪軸技術(shù)被引入主流汽車市場時，汽車制造商對這一技術(shù)進行了大量的推廣。載體一般由三氧化二鋁制成，其形狀有球形、多棱體形和網(wǎng)狀隔板等。在1960年代中期，正當這一技術(shù)還于少數(shù)生產(chǎn)的汽車和運動車上時，菲亞特集團果斷地在其包括轎跑車、轎車、敞蓬車和旅行車在內(nèi)的產(chǎn)品線上使用了皮帶驅(qū)動的雙頂置凸輪軸技術(shù)，從而成為了用這一技術(shù)的公司

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