每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達(dá)到了國際無塵標(biāo)準(zhǔn)的A。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于A，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。無塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。

    無塵室的優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之?dāng)U充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

    無塵室的缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運(yùn)轉(zhuǎn)再重啟，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時相當(dāng)長一段時間。

     復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域覆蓋使?jié)崈舳鹊燃壧岣咧?0級以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。設(shè)計新穎輕巧，符合人體工學(xué)，操作時不會腰酸背痛,減少人體不適。潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴(kuò)充容易； B.維修設(shè)備時可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

    并裝局部無塵室（Clean Spot）：將無塵室等級10,000~100,000之亂流無塵室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。潔凈工作臺：等級Class 1~100級?？蚣埽阂怨I(yè)鋁材（或不銹鋼方通、鐵方通噴塑）作為框架穩(wěn)固、美觀、不生銹、不產(chǎn)塵。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨(dú)立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風(fēng)機(jī)組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動輪，可為彈性運(yùn)用。

   蘇州卓宇泰起重設(shè)備安裝有限公司主營設(shè)備安裝，設(shè)備包裝，設(shè)備吊裝，無塵室設(shè)備移位與定位，大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。

   簡易無塵室是快速方便建立的一座簡易潔凈室，簡易無塵室具備多種潔凈等級及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計制作，因此其簡便運(yùn)用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點(diǎn)，簡易無塵室同時可針對在一般等級的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。建議不要佩戴懸垂式耳環(huán)、項鏈、胸針和其他凸出來的或者懸掛的飾品，即便它們一般都是藏在衣服里面，不要佩戴這些飾物。