無塵車間凈化技術(shù)的設(shè)備發(fā)展

　　美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。無塵車間檢漏操作①檢查氣溶膠發(fā)生器中DOP溶劑的液位是否高于低液位，不足則應(yīng)添加。該項(xiàng)新的無塵車間潔凈技術(shù)在100級(jí)潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到高ji別的微環(huán)境，無塵車間消除了操作者與工藝設(shè)備運(yùn)行的二次污染源產(chǎn)生對(duì)集成電路成品率和可靠性的影響作用。

GMP凈化工程主要需要注意的方面有以下幾點(diǎn)：

　　(3)設(shè)備

　　工廠的所有設(shè)備和用具的設(shè)計(jì),采用的材料和制作工藝,應(yīng)便于充分的清洗和適當(dāng)?shù)木S護(hù)。這些設(shè)備和用具的設(shè)計(jì)、制造和使用,應(yīng)能防止食品中摻雜污染源。（9）料盒、周轉(zhuǎn)箱、PCB架等物流傳遞器具表面電阻值103-109Ω，摩擦電壓＜100V。接觸食物的表面應(yīng)耐腐蝕,它們應(yīng)采用無1毒1的材料制成,能經(jīng)受侵蝕作用。接觸食物的表面的接縫應(yīng)平滑,而且維護(hù)得當(dāng)，能盡量減少食物顆粒、臟物及有機(jī)物的堆積,從而將微生物生長繁殖的機(jī)會(huì)降低到限度。食品加工、處理區(qū)域內(nèi)不與食品接觸的設(shè)備應(yīng)結(jié)構(gòu)合理,便于保持清潔衛(wèi)生。食品的存放、輸送和加工系統(tǒng)的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)應(yīng)能使其保持良好的衛(wèi)生狀態(tài)。