凈化車間的應(yīng)布置合理、緊湊，避免人的混雜。不同空氣潔凈度房間之間的相互聯(lián)系，要有防止污染措施，如氣閘室、緩沖間或傳遞窗。凈化工程內(nèi)要求空氣潔凈度高的工序，應(yīng)布置在上風(fēng)側(cè)，易產(chǎn)生污染的工藝設(shè)備應(yīng)布置在靠近回風(fēng)口位置；不同潔凈級別的房間或區(qū)域，宜按空氣潔凈度的高低由里向外布置?？諝鉂崈舳雀叩姆块g或區(qū)域，宜布置在人員少到達(dá)的地方，并宜靠近空調(diào)機(jī)房；空氣潔凈度相同的房間或區(qū)域，宜相對集中。

通風(fēng)機(jī)是依托輸入的機(jī)械能，進(jìn)步氣體壓力并排送氣體的機(jī)械，它是一種從動的流體機(jī)械。通風(fēng)管道廣泛用于工廠、礦井、地道、冷卻塔、車輛、船只和建筑物的通風(fēng)、排塵和冷卻；鍋爐和工業(yè)爐窯的通風(fēng)和引風(fēng)；空氣調(diào)節(jié)設(shè)備和家用電器設(shè)備中的冷卻和通風(fēng)；谷物的烘干和選送；風(fēng)洞風(fēng)源和氣墊船的充氣和推動等。

在電子生產(chǎn)中，過高或者過低的溫濕度都會對產(chǎn)品造成惡劣影響。例如；濕度過大，會導(dǎo)致電子元器件漏電、材料老化；濕度過低又會導(dǎo)致塑料、絕緣材料干燥收縮、變形甚至龜裂。溫度過高會導(dǎo)致元器件膨脹，導(dǎo)致尺寸變化、位置偏移、機(jī)構(gòu)變形，影響產(chǎn)品質(zhì)量。

在微電子器件生產(chǎn)過程中，各種因素產(chǎn)生的靜電電壓，往往會超過電子器件對靜電的靈敏度范圍，導(dǎo)致電子設(shè)備出現(xiàn)故障，損壞設(shè)備內(nèi)部各元器件，引起設(shè)備誤動。靜電還會吸塵，容易積蓄灰塵，導(dǎo)致設(shè)備通風(fēng)散熱受到很大影響，導(dǎo)致機(jī)械零件出現(xiàn)嚴(yán)重磨損，從而影響設(shè)備的使用壽命。