由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。精密加工和超精密加工是先進制造技術的重要支柱，也是提高制造技術水平的關鍵。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。