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近年來(lái),石墨成為了制造模具的材料,應(yīng)用廣泛,常見(jiàn)產(chǎn)品有電子燒結(jié)石墨模具,放熱焊接石墨模具,金剛石石墨模具等。除此之外,石墨還有哪些用途呢?
1.制造電氣冶煉爐、電解池、弧光燈及弧焊的電極和發(fā)電機(jī)、馬達(dá)的電刷、電阻器和電話機(jī)的炭棒等。
2.制造各種冶金坩堝。
3.因石墨能吸收大量中子,所以可以作為原子堆中的減速劑,但必須是高度純粹的結(jié)晶質(zhì)石墨。
4.用作翻砂鑄模面的涂料、防銹涂料、機(jī)器潤(rùn)滑劑、軸承的潤(rùn)滑劑。
5.各種耐火材料及耐火絕緣材料的混合物。
6.制造抗腐性的油漆。
7.制造鉛筆的筆芯,作為黑色的著色料。
8.通過(guò)特殊化學(xué)處理后,則可做成柔性密封材料。
高純石墨坩堝雖然質(zhì)量上非常好,也不容易損壞,但是也要輕拿輕放,高空跌落或者是磕磕碰碰對(duì)石墨坩堝的質(zhì)量影響并不大,但是長(zhǎng)時(shí)間如此進(jìn)行下去就會(huì)出現(xiàn)裂縫的現(xiàn)象,這種情況出現(xiàn)后是沒(méi)有辦法補(bǔ)救的,只能重新更換了。高純石墨坩堝不要在明火上面加熱。因?yàn)樗旧淼臒醾鲗?dǎo)性并不是特別足,在上面加熱是沒(méi)有意義,碳?xì)帜募液?,并且使用煙熏和火烤或讓它的下面出現(xiàn)焦黑,很不美觀。
石墨舟推舟系統(tǒng):石墨舟推舟系統(tǒng)采用軟著陸的方式,即將石墨舟放到反應(yīng)管內(nèi)部后,石墨舟推舟機(jī)構(gòu)將退出,自動(dòng)門(mén)關(guān)上。載片舟是經(jīng)特殊設(shè)計(jì),在X軸、Y軸、Z軸三個(gè)方向可微調(diào),再經(jīng)精加工而成。它直接影響到電場(chǎng)的分布、等離子的產(chǎn)生、氣流的走向、膜的品質(zhì)。成膜壓力甚至氣體的流量都與此結(jié)構(gòu)有關(guān),所以推舟系統(tǒng)是本設(shè)備的核心部件。 管式PECVD系統(tǒng):即使用像擴(kuò)散爐管一樣的石英管作為沉積腔室,使用電阻爐作為加熱體,將一個(gè)可以放置多片硅片的石墨舟插進(jìn)石英管中進(jìn)行沉積。