充氣開(kāi)關(guān)柜檢漏設(shè)備  

由于工件內(nèi)外壓差不能大于0.04Mpa,抽空過(guò)程中系統(tǒng)可通過(guò)電氣控制部分控制工件內(nèi)外基本等壓，如果壓力差超過(guò)設(shè)定值，則抽速較快的泵自動(dòng)停止，等壓力差達(dá)到規(guī)定要求時(shí)，泵自動(dòng)運(yùn)行，直至真空箱和工件內(nèi)的真空度均達(dá)到規(guī)定值。系統(tǒng)自動(dòng)記錄、存儲(chǔ)抽真空、充氦、氦檢過(guò)程中的工件和真空箱的壓力變化情況。自動(dòng)判斷，并對(duì)應(yīng)放置（即不合格品放于不合格線，合格品放于合格線）9。系統(tǒng)同時(shí)具有自我診斷與報(bào)警功能，顯示各種故障信息。

電氣系統(tǒng)同時(shí)具有自我效準(zhǔn)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，以及急停按鈕，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行可靠安全和被檢工件的安全。為了保證工件的安全，系統(tǒng)中采用壓力和真空傳感器同時(shí)使用的方式，以防止傳感器失效而對(duì)系統(tǒng)造成的傷害。

結(jié)構(gòu)主要采用電腦觸摸屏的集散式半導(dǎo)體模塊控制系統(tǒng)，分散與集中控制相結(jié)合，層次分明、成本低廉、維護(hù)方便。上位機(jī)采用工控機(jī)，用于向PID發(fā)布指令、系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)集中管理。

控制系統(tǒng)同時(shí)具有自我診斷與報(bào)警功能，顯示各種故障信息?？刂葡到y(tǒng)同時(shí)具有自我校準(zhǔn)、連鎖保護(hù)和報(bào)警功能，確保系統(tǒng)本身運(yùn)行安全可靠和被檢工件的安全。

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氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)

說(shuō)到氦氣檢漏設(shè)備的特點(diǎn)，首先，我們還需要注意核心部件分子泵，使用原裝進(jìn)口的檢漏儀專用的分子泵。美國(guó)AD放大器用于有效降低氦氣檢漏設(shè)備的噪聲并提高氦氣檢漏設(shè)備的靈敏度。 180度非均勻磁場(chǎng)質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于聚焦和高靈敏度。

氦氣檢漏設(shè)備的檢漏口具有較高的耐壓性，檢漏率范圍廣，可檢出較大的泄漏和較小的泄漏。 離子源燈絲采用氧化釔銥金絲，壽命長(zhǎng)，靈敏度高。 獨(dú)特的三屏切換，信息替換更豐富，檢漏更方便； 它具有快速氦氣清洗功能和快速響應(yīng)功能。

氦氣檢漏設(shè)備可實(shí)現(xiàn)一鍵歸零； 采用全自動(dòng)液晶觸摸彩屏顯示，實(shí)現(xiàn)智能自動(dòng)化，操作更方便，簡(jiǎn)單可靠； 中英文菜單，菜單可以一鍵實(shí)現(xiàn)，實(shí)際使用效果突出。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。今天和大家分享的是氦氣檢漏的性能指標(biāo)，想了解更多產(chǎn)品信息您可撥打圖片上的電話進(jìn)行咨詢。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入?？障到y(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。C2：若B2檢測(cè)通過(guò)，真空箱內(nèi)充入大氣，同時(shí)工件內(nèi)氦氣回收-------真空箱開(kāi)門，檢測(cè)完成。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車間都是使用干泵檢漏儀。