按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。真空泵底座下應(yīng)保持地基水平，蒸發(fā)離子泵：泵內(nèi)被電離的氣體吸附在以間斷或連續(xù)方式升華（或蒸發(fā)）而覆在泵內(nèi)壁的吸氣材料上，以實現(xiàn)抽氣的一種真空泵。

有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，為了使用方便和真空工藝過程的需要，將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機組型式應(yīng)用。真空系統(tǒng)指低于該地區(qū)大氣壓的稀簿氣體狀態(tài)。

隨著真空技術(shù)在應(yīng)用壓強范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類已發(fā)展了很多種，根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。真空度低，這不僅是因為受到結(jié)構(gòu)上的限制，更重要的是受工作液飽和蒸氣壓的限制。用水作工作液，極限壓強只能達(dá)到2000~4000Pa。