高溫束源爐介紹

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束源爐是一種蒸發(fā)鍍膜裝置是在高真空條件下，通過(guò)加熱材料的方法，使坩堝中被蒸發(fā)物在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜，可用于鍍半導(dǎo)體、金屬膜，氧化物、納米級(jí)單層及多層功能膜的連續(xù)沉積。

加熱，溫度測(cè)量控制重復(fù)性好，并且可以準(zhǔn)確調(diào)節(jié)。鉭燈絲的優(yōu)化設(shè)計(jì)確保了加熱穩(wěn)定性，即使在極限溫度下也可以具有很長(zhǎng)的使用壽命。 

加熱樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)原理

設(shè)計(jì)原理為：將樣品槽設(shè)置在中空腔中，中空腔中通入熱空氣對(duì)樣品槽進(jìn)行加熱，從而對(duì)樣品進(jìn)行傳熱加熱，而隨著熱空氣裝置不斷向中空腔中通入空氣，中空腔中的壓力會(huì)增大，從而通過(guò)泄壓口向氣管排氣，排出的氣體會(huì)通過(guò)氣管到達(dá)多孔頭，從而對(duì)樣品容器通入熱空氣，一方面熱空氣對(duì)樣品容器中的樣品進(jìn)行加熱，另一方面還能起到空氣攪拌的作用。表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

熱空氣裝置包括空壓機(jī)、加熱箱和管道，空壓機(jī)通過(guò)所述管道與所述加熱箱連通，加熱箱通過(guò)管道與所述中空腔連通，空壓機(jī)產(chǎn)生的空氣通過(guò)管道進(jìn)入到加熱箱中進(jìn)行加熱，并經(jīng)管道通入到中空腔中。

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靶材提純方法

超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中要反復(fù)用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中要反復(fù)用到的濺射(Sputtering)工藝屬于物理氣相沉積(PVD)技術(shù)的一種,是制備電子薄膜材料的主要技術(shù)之

濺射工藝用離子源產(chǎn)生的離子,在高真空中經(jīng)過(guò)加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面，被轟擊的固體 是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。

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濺射靶材的作用是什么？

濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)之一，它利用離子源產(chǎn)生的離子 ,在真空中經(jīng)過(guò)加速聚集,而形成高速度能的離子束流,轟擊固體表面,離子和固體表面原子發(fā)生動(dòng)能交換,使固體表面的原子離開(kāi)固體并沉積在基底表面,被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料,稱為濺射靶材。各種類型的濺射薄膜材料無(wú)論在半導(dǎo)體集成電路、記錄介質(zhì)、平面顯示以及工件表面涂層等方面都得到了廣泛的應(yīng)用。我們把厚度低于1um的膜層叫薄膜，厚度高于1um的膜叫厚膜鍍膜工藝是用不同的材料在基片表面形成新表面的方法。