凈化車間之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸的大氣的潔凈度以及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間。按照國(guó)際慣例，無塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無塵是必然的要求。

施工要點(diǎn)

潔凈圍護(hù)結(jié)構(gòu)的安裝是在技術(shù)夾層內(nèi)的各種主管安裝完畢，然后對(duì)室內(nèi)地墻、空間進(jìn)行一次徹底清掃，達(dá)到無積塵后進(jìn)行施工，并在施工過程中零部件和場(chǎng)地做到專人清掃。

  a.施工前首先熟悉二次設(shè)計(jì)圖，完成現(xiàn)場(chǎng)勘測(cè)，對(duì)原土建房間的誤差做到心中有數(shù)。吊掛等與主體結(jié)構(gòu)和地面的連接件的固定應(yīng)嚴(yán)格按二次設(shè)計(jì)圖要求進(jìn)行。

b.根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)具體情況及凈化系統(tǒng)的組成、有步驟有計(jì)劃的施工，使各工種的施工有機(jī)的結(jié)合，以加快 施工進(jìn)度。

其他系統(tǒng)

不只是空調(diào)系統(tǒng),凈化車間系統(tǒng)中還包括有真空,空壓,氮?dú)?純水,廢水,二氧化碳系統(tǒng),制程排氣系統(tǒng),檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)：

1、氣流速度及其均勻度檢測(cè)，這項(xiàng)檢測(cè)是凈化車間效果的其他各項(xiàng)檢測(cè)的前提，這項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

2、系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。

3、室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。

4、自凈時(shí)間的檢測(cè)。通過確定自凈時(shí)間，查明潔凈室內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

5、氣流流型檢測(cè)。

6、噪聲的檢測(cè)。

7、照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

8、振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明凈化車間各表明的振動(dòng)幅度。

9、溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)凈化車間的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)凈化車間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。

10、總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。

凈化車間的原則：

1.、杜絕把灰塵帶入凈化車間;

(一).空氣:

(1).通過過濾網(wǎng)凈化空氣:

常用的過濾網(wǎng):玻璃纖維和玻璃石棉等. 玻璃纖維:能過濾0.3 m 的懸浮塵粒,

甚至達(dá)到0.04 m 的懸浮塵粒;過濾效果:99.99%

玻璃石棉:根據(jù)石棉的的直徑大小決定;

例:1m的石棉過濾1 m 的塵粒.

2、進(jìn)入凈化車間必須穿著無塵衣.

不得使用容易產(chǎn)生灰塵的材料、設(shè)備、備品等.使用凈化車間用品.(無塵紙、無塵本、圓珠筆等)減少?zèng)]必要的人員的活動(dòng)、設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn).制定設(shè)備的擺放結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方案.沒必要的物品禁止帶入到凈化車間.凈化車間中禁無塵衣.凈化車間內(nèi)物品數(shù)量限制在少的限度.物品擺放作出規(guī)定,減少空氣亂流.