集成電路制造對(duì)無(wú)塵車(chē)間環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。2倍進(jìn)行考慮，務(wù)必注意承載體的強(qiáng)度和可靠性，否則將有重大隱患。不同的工藝制程對(duì)潔凈度的要求也各不相同，例如光刻要求在1級(jí)的微環(huán)境下，而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級(jí)的環(huán)境即可。另外，集成電路制造潔凈廠房對(duì)噪聲、微振、照度等都有相關(guān)的規(guī)定和要求，尤其是振動(dòng)的控制，在潔凈室的建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上就要有所要求。

云南恒云凈化工程有限公司是一家空氣凈化空調(diào)設(shè)備安裝專(zhuān)業(yè)公司。

　壓縮空氣滅菌設(shè)備通常使用空氣過(guò)濾器對(duì)空氣進(jìn)行過(guò)濾除了菌；空氣過(guò)濾技術(shù)多用于通風(fēng)及空調(diào)進(jìn)氣系統(tǒng)中，凈化大氣中的粉塵顆粒，使進(jìn)入室內(nèi)空氣更為干凈，利用空氣過(guò)濾器能捕集亞微米粒子；空氣過(guò)濾器的纖維組織常使用金屬網(wǎng)格、無(wú)紡織物或特殊紙質(zhì)的濾料，也可根據(jù)不同的凈化要求使用不同的濾材，但其所用濾料孔隙較大；空氣過(guò)濾器的入口質(zhì)量濃度一般低于5mg/m3，而其出口質(zhì)量濃度有的可以低到1m3空氣幾個(gè)微粒計(jì)數(shù)。由于靜壓差的降低，即可降低凈化空調(diào)系統(tǒng)中新風(fēng)的處理量，此時(shí)不僅可以減少處理為保證靜壓而需要的新風(fēng)量所消耗的冷、熱量，還可減少風(fēng)機(jī)的電耗，采用變風(fēng)量運(yùn)行方式是較為理想的節(jié)能方式。

建筑平面設(shè)置應(yīng)該屬建筑專(zhuān)業(yè)的專(zhuān)業(yè)范疇，但由于食品凈化車(chē)間要求人、物分流，并要保持各潔凈操作間的靜壓梯度，因此，該工程中建筑平面要求具備以下幾點(diǎn)：

1、各凈化操作間集中設(shè)置獨(dú)立前室為氣閘，氣閘室與各操作間同時(shí)相通，確保低潔凈區(qū)的空氣不向高潔凈區(qū)滲透。

2、實(shí)驗(yàn)室的人的流經(jīng)過(guò)更衣室更衣?lián)Q鞋→清洗間洗手→緩沖間→風(fēng)淋室→各操作室。

3、食品空氣凈化車(chē)間物流由外走廊經(jīng)過(guò)機(jī)械連鎖自消毒傳遞窗消毒后進(jìn)入緩沖走廊后再經(jīng)過(guò)傳遞窗進(jìn)入各操作室。

潔凈室按規(guī)范要求都設(shè)置有消防給水、滅火設(shè)備和火災(zāi)自動(dòng)報(bào)警系統(tǒng)，主要是為了及時(shí)發(fā)現(xiàn)火災(zāi)，將火災(zāi)事故消滅在初始階段。遵循這個(gè)原則，潔凈車(chē)間設(shè)計(jì)時(shí)，應(yīng)注意如下幾個(gè)方面：1、墻角設(shè)計(jì)成圓弧形，避免灰塵積累，如果是平直形，不但容易積累灰塵，而且清潔很難。對(duì)于潔凈室由于其具有技術(shù)夾層和用于回風(fēng)空間的下夾層，我們?cè)诓贾脠?bào)警探頭時(shí)應(yīng)予考慮，這樣更有利于及時(shí)發(fā)現(xiàn)火情。同時(shí)，對(duì)于有大量精密和貴重設(shè)備的潔凈室，我們還可以引入vesda這種早期預(yù)警空氣采樣報(bào)警系統(tǒng)，比常規(guī)報(bào)警器提前3到4小時(shí)報(bào)警，大大提高了火災(zāi)的探測(cè)能力，從而達(dá)到及時(shí)發(fā)現(xiàn)，快速處理，將火災(zāi)損失減少到很低限度的要求。