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1、防止返油的措施：

(1)在泵入口管路上設(shè)置放氣閥，使入口壓力維持在10Pa以上，這樣可以減少返流的98%。

(2)對于單級泵，在泵運轉(zhuǎn)時打開氣鎮(zhèn)閥就能很好的防止有的返流。

(3)在泵的入口設(shè)置吸附阱，依靠吸附劑吸返流蒸汽。

(4)使用特殊泵油。

2.泵的啟動與停止：電源線連接、電磁放氣閥、空氣隔離閥。

3.泵油的過濾與更換：過濾器。注意泵油量、顏色、狀態(tài)的改變。

4.油霧的產(chǎn)生與分離。

由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài)，所以，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。但當轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣，v0空間與排氣側(cè)相通時，由于排氣側(cè)氣體壓強較高，則有一部分氣體返沖到空間v0中去，使氣體壓強突然。當轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動時，氣體排出泵外。羅茨泵在泵腔內(nèi)，有二個“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對平行軸上，由傳動比為1的一對齒輪帶動作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運動。在轉(zhuǎn)子之間，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間，保持有一定的間隙，可以實現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運行。

設(shè)計要點

在復合分子泵的設(shè)計中，必須處理好渦輪級與牽引級之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計時應(yīng)在渦輪級和牽引級轉(zhuǎn)換處加上過渡級結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。隨著復合分子泵的不斷改進，其應(yīng)用領(lǐng)域越來越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時間，并可獲得無油污染的清潔真空環(huán)境。