三軸石英擾性加速度傳感器廠家撓性的材料為溫度性能好的石英玻璃，外形采用超聲加工而成，撓性元件的加工一般采用化學(xué)腐蝕方法；也可以采用反應(yīng)離子蝕刻工藝加工整個(gè)撓性材料，但造價(jià)很高。三軸石英擾性加速度傳感器廠家在結(jié)構(gòu)上強(qiáng)行磁極對(duì)頂固定，互為對(duì)方的反向磁片，在間隙間形成均勻磁場。當(dāng)有加速度a輸入時(shí)，由撓性材料及力矩線圈組成的敏感質(zhì)量塊相對(duì)平衡位置運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生慣性力Fa或慣性力矩，然后通過換能器將此機(jī)械運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，再通過伺服放大器變成電流信號(hào)，電流信號(hào)被饋送到處于恒定磁場中的力矩器而產(chǎn)生反饋力Foc或反饋力矩Moc，與輸入加速度引起的慣性力Fa或慣性力矩相平衡，直到再次恢復(fù)到平衡位置。通過分析石英撓性加速度計(jì)的溫度誤差機(jī)理,研究在不同溫度條件下的靜態(tài)輸出特性.利用多次溫度實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),采用更小二乘和多項(xiàng)式擬合的方法建立了石英撓性加速度計(jì)溫度誤差補(bǔ)償模型.實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:溫度誤差補(bǔ)償后,石英撓性加速度計(jì)在-20℃到50℃范圍內(nèi)刻度因子漂移量由10-4數(shù)量級(jí)提高到10-5數(shù)量級(jí),零偏漂移量由800μg提高到52μg.

太空之旅固然浪漫，但是隨著高度的增加，空氣將越來越稀薄，大氣壓力也將越來越低，終將接近于真空。為了保證正常工作，石英撓性加速度計(jì)身體內(nèi)部密封了一個(gè)大氣壓的工藝氣體，而在真空環(huán)境下，石英撓性加速度計(jì)內(nèi)部的氣體會(huì)向外泄漏，隨著內(nèi)部壓力的降低，石英撓性加速度計(jì)的測量精度也將下降。因此，為了保證交會(huì)對(duì)接的測量要求，必須對(duì)石英撓性加速度計(jì)實(shí)施密封，即給石英撓性加速度計(jì)穿上一套密不透風(fēng)的“外衣”，防止內(nèi)部氣體在真空環(huán)境下的泄漏。在通過對(duì)各種膠接劑的性能對(duì)比考、膠接劑的成分配比反復(fù)驗(yàn)證，終確定了石英撓性加速度計(jì)密封外衣材料用的膠接劑，并進(jìn)行了精心的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。為了充分保證密封的可靠性，又模擬太空使用環(huán)境，對(duì)這件密封外衣進(jìn)行了振動(dòng)、沖擊、熱循環(huán)、熱真空等嚴(yán)酷試驗(yàn)的考核，經(jīng)過千錘百煉的石英撓性加速度計(jì)密封外衣終于問世，為石英撓性加速度計(jì)真空環(huán)境工作提供了一個(gè)堅(jiān)實(shí)的屏障。

石英撓性加速度近些年維持每一年8%的提高，現(xiàn)階段在民用的好幾個(gè)行業(yè)獲得廣泛運(yùn)用，石英撓性加速度計(jì)是擺式加速度計(jì)的一種，以結(jié)構(gòu)力學(xué)三大定律做為基本概念準(zhǔn)確測量加速度。三軸石英擾性加速度傳感器廠家關(guān)鍵由左右扭矩器、擺部件及其伺服電機(jī)回路構(gòu)成。在其中電磁線圈根據(jù)粘膠方式與石英擺片固連，連在線圈骨架與擺片組成擺部件，完成檢驗(yàn)品質(zhì)的作用，用于比較敏感外部鍵入加速度。石英撓性加速度計(jì)具備構(gòu)造簡易、精度好的特性。在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)軟件、大地測量學(xué)系統(tǒng)軟件中有普遍的運(yùn)用。這類加速度計(jì)的關(guān)鍵缺陷是，準(zhǔn)確測量加速度超出700M/，其離散系統(tǒng)偏差顯著擴(kuò)大，另外不可以承擔(dān)很大的沖擊性震動(dòng)。