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多源有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)?系統(tǒng)鈣鈦礦熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)公司
多源有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)系統(tǒng)
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主要用途:
用于納米級單層及多層金屬膜、 半導(dǎo)體膜等新材料的制備。廣泛應(yīng)用 于大專院校的薄膜材料科研。
系統(tǒng)組成:
由真空室、蒸發(fā)源、樣品臺(tái)、 真空測量、膜厚測試、電控系統(tǒng)組成。
技術(shù)指標(biāo):
極限真空度5.0×10-5Pa,系統(tǒng)漏率:1×10-7PaL/S; 恢復(fù)真空時(shí)間:40分鐘可達(dá)6.6×10 Pa
真空室:D形真空室,尺寸350× 380mm
樣品臺(tái):尺寸為4英寸厚度3mm的平面樣品;
電極:數(shù)量:4支水冷結(jié)構(gòu);直徑Φ20㎜
樣品基片:,基片在鍍膜位置實(shí)現(xiàn)自轉(zhuǎn)?;臏囟葟氖覝刂?00℃
4套擋板系統(tǒng):基片擋板與源擋板;靶擋板共有3套, 樣品擋板(1套)
石英晶振膜厚控制儀:膜厚測量范圍0-999999?
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)。
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小方分子提純設(shè)備鈣鈦礦熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)公司
小方分子提純設(shè)備
用來生長有機(jī)材料提純的研究工作?! ?
系統(tǒng)組成: 該類設(shè)備為單室結(jié)構(gòu)?! ?
極限真空≤610-4Pa,工作壓力≤2*10-3Pa;
系統(tǒng)漏率≤6.7×10-7PaL/s?! ?
鍍膜室:腔室尺寸約為Φ50×350mm,石英材料,圓柱形結(jié)構(gòu)?! ?
抽氣系統(tǒng):采用分子泵 機(jī)械泵抽氣系統(tǒng);
樣品可加熱,加熱溫度為:200-600℃;
可選分子泵組或者低溫泵組合渦旋干泵抽氣系統(tǒng)
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有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀
以下是沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司為您一起分享的內(nèi)容,沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司專業(yè)生產(chǎn)電阻熱蒸發(fā)鍍膜產(chǎn)品,歡迎新老客戶蒞臨。
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu),主要由二個(gè)有機(jī)材料生長室組成,兩個(gè)有機(jī)材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接,其中一個(gè)生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對接接口,能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。6×10Pa(短時(shí)間暴露大氣并充干燥氮?dú)夂箝_始抽氣)樣品臺(tái):尺寸為4英寸平面樣品。有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀的有機(jī)材料生長室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。