流量控制器基本原理

通過(guò)測(cè)量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時(shí)的冷卻效應(yīng)來(lái)計(jì)量氣體流量的。若作測(cè)脈動(dòng)流測(cè)量，應(yīng)了解TMF的響應(yīng)性，以保證能跟隨的上脈動(dòng)的速度變化。氣體通過(guò)的測(cè)量段內(nèi)有兩個(gè)熱阻元件，其中一個(gè)作為溫度檢測(cè)，另一個(gè)作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測(cè)氣體溫度，加熱器則通過(guò)改變電流來(lái)保持其溫度與被測(cè)氣體的溫度之間有一個(gè)恒定的溫度差。當(dāng)氣體流速增加，冷卻效應(yīng)越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對(duì)應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來(lái)反映氣體的流量。

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流量控制器的控制響應(yīng)速度

物理時(shí)間常數(shù)

物理時(shí)間常數(shù)用希臘字母Tau來(lái)表示，是現(xiàn)今為數(shù)不多的用來(lái)描述響應(yīng)時(shí)間的標(biāo)準(zhǔn)之一，即：控制器到達(dá)設(shè)定值某個(gè)百分比所需要的時(shí)間，被定義為1-1/e， 其中e是作為自然對(duì)數(shù)底數(shù)的無(wú)理數(shù)，其值為2.72，所以1-1/e即為設(shè)定值的63.2%。0級(jí)的精度等級(jí)4、多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等5、內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無(wú)需重新校準(zhǔn)6、標(biāo)配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板想了解更多關(guān)于質(zhì)量流量控制器的相關(guān)資訊，請(qǐng)持續(xù)關(guān)注本公司。雖然該定義是一個(gè)物理標(biāo)準(zhǔn)，可能說(shuō)明不了什么問(wèn)題，因?yàn)橛嘞碌脑O(shè)定值的36.8%所花費(fèi)的時(shí)間可能多于或少于之前的63.2%。從下面示波器截圖中可以看到：ALICAT?質(zhì)量流量控制器僅用了7.4毫秒便到達(dá)了設(shè)定值的63.2%。

任意設(shè)定值百分比變化區(qū)域

不少質(zhì)量流量控制器的技術(shù)參數(shù)采用設(shè)定值某一百分比區(qū)間內(nèi)的變化來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度，比如：從設(shè)定值的10%到達(dá)90%所需要的時(shí)間。二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定，該設(shè)備時(shí)屬于在線使用高精的測(cè)量?jī)x表，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。由于和后的 10%控制響應(yīng)曲線變化，由此而得出的控制響應(yīng)速度可能無(wú)法與實(shí)際的控制性能等同。如下圖所示，ALICAT?質(zhì)量流量控制器用了11.4毫秒到達(dá)設(shè)定值， 從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。就該圖而言，如果按照從設(shè)定值10%到達(dá)90%所用的時(shí)間來(lái)定義設(shè)備響應(yīng)速度的話，那么結(jié)論是6~7毫秒。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點(diǎn)是：當(dāng)自力式流量控制閥進(jìn)口、出口壓差變化時(shí)，通過(guò)自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中的誤差要求小于等于8％，A類(lèi)產(chǎn)品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設(shè)計(jì)、加工和材質(zhì)。

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流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動(dòng)壓差

工作壓差范圍指的是當(dāng)流量控制器進(jìn)口、出口壓差變化在多大范圍時(shí)，能保持通過(guò)流量控制器的流量恒定不變。質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén),閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿量程,在工作的過(guò)程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定工作壓差范圍0.03－0.3MPa，A類(lèi)產(chǎn)品工作壓差范圍達(dá)到0.03－0.4MPa。工作壓差范圍的大小取決于自力式流量控制閥的設(shè)計(jì)。

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