DZS800型電子束鍍膜設(shè)備

主要用途：　　

用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，批量生產(chǎn)型。

系統(tǒng)組成:　　

系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測量、計算機(jī)系統(tǒng)及安裝機(jī)臺等部分組成。　　

技術(shù)指標(biāo)：　　

極限真空度：≤6.7×10 Pa　　恢復(fù)真空時間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min　　

系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；　　

真空室：真空室1200x9000 x800mm采用U型箱體前開門，后置抽氣系統(tǒng)　　

e型電子槍：陽極電壓：10kv(2套)　　坩堝：水冷式坩堝，24穴設(shè)計，每個容量11ml　　

功率：0-10KW可調(diào)　　電阻蒸發(fā)源(可選)　　

基片尺寸：可放置4″基片一次更換20個樣品　　

樣品臺：基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離350mm加熱溫度 400°C±1°C　　

氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路　　

石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測膜厚顯示范圍：0-99μ9999?

沈陽鵬程真空技術(shù)有限責(zé)任公司——專業(yè)電子束產(chǎn)品供應(yīng)商，我們?yōu)槟鷰硪陨闲畔ⅰ?

雙槍電子束鍍膜機(jī)介紹

電子槍蒸發(fā)是到目前為止應(yīng)用較多的一種蒸發(fā)方式，它可以蒸發(fā)任何一種鍍膜材料，它的工作方式是：將鍍膜材料放在坩堝里面，將蒸發(fā)源制作成燈絲形狀，采用一專門的控制柜，對燈絲加一強(qiáng)電流，高電壓，由于燈絲的材料是鎢，所以它會發(fā)熱，然后會發(fā)射電子，再采用一定的磁場將其聚集成一定形狀，并牽引到坩堝上，這樣就形成了一股電子束，由于電子束溫度非常高，可以熔化任何鍍膜藥材，當(dāng)鍍膜藥材被電子束熔化后（有些材料是直接升華），藥材的分子（原子或者離子）在真空中成直線運(yùn)動，然后遇到基板，就凝結(jié)下來，經(jīng)過這種方式生長，形成薄膜！產(chǎn)品配置：★樣片數(shù)量及尺寸：1片Φ8英寸或5片Φ4英寸或傘形工件架（用戶定制）★蒸發(fā)材料：金屬。

常用的有將電子束的偏轉(zhuǎn)角制作成270度，、或者運(yùn)行軌跡為e型的e行電子槍或者電子束偏轉(zhuǎn)角180度，運(yùn)行軌跡為c型的c型電子槍兩種。

期望大家在選購電子束時多一份細(xì)心，少一份浮躁，不要錯過細(xì)節(jié)疑問。想要了解更多電子束的相關(guān)資訊，歡迎撥打圖片上的熱線電話！??！

電子束鍍膜機(jī)電源柜的操作

1. 總電源

2. 同時開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：按電子槍控制Ⅰ電源、延遲開關(guān)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延遲 及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會常亮。

3. 開高壓，高壓會達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動。

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