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半導(dǎo)體手套箱擇優(yōu)推薦「在線咨詢」

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發(fā)布時(shí)間:2020-11-04 12:28  






手套箱

手套箱簡介

手套箱是將高純惰性氣體充入箱體內(nèi),并循環(huán)過濾掉其中的活性物質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。也稱真空手套箱、惰性氣體保護(hù)箱等。主要功能在于對O2,H2O,有機(jī)氣體的清除。

廣泛應(yīng)用于無水、無氧、無塵的超純環(huán)境,如:鋰離子電池及材料、半導(dǎo)體、超級電容、特種燈、激光焊接、釬焊、材料合成、OLED、MOCVD等。也包括生物方面應(yīng)用,如細(xì)胞低氧培養(yǎng)等。

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手套箱的日常維護(hù)保養(yǎng)

1.要從手套箱內(nèi)取出放在過渡艙內(nèi)的樣品前,須先將過渡艙上的開關(guān)轉(zhuǎn)至“真空”位置,將艙內(nèi)的空氣抽出,再轉(zhuǎn)制“填充”,使干燥潔凈的氣體由手套箱內(nèi)進(jìn)入過渡艙內(nèi),重復(fù)一、二次之后,即可從手套箱內(nèi)將過渡艙門打開,取出樣品。

2.使用設(shè)備時(shí),禁止佩戴手表、戒指等有可能刺破手套的東西,若使用尖銳物品時(shí),也要格外注意以免刺破手套,指甲過長也有幾率刺破手套。







手套箱功能原理       

手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱(水氧吸附器)之間,在PLC的控制和監(jiān)視下,通過管道、循環(huán)風(fēng)機(jī)等進(jìn)行密閉循環(huán)。手套箱常見故障及解決辦法1、水氧含量大于200ppm原因:新箱調(diào)試或誤操作。工作氣體循環(huán)經(jīng)過凈化柱時(shí)其所含水分和氧氣被吸附掉,然后再返回箱體內(nèi),隨著循環(huán)時(shí)間的推移,箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少,終達(dá)到小于1ppm的指標(biāo)。凈化柱在一定時(shí)間的循環(huán)后會(huì)吸附飽和,可進(jìn)行再生,重復(fù)使用。







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