真空設(shè)備檢漏與維修

隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏方法在我國(guó)的壓力容器制造業(yè)中的應(yīng)用也逐年遞增。氦質(zhì)譜檢漏方法（以下簡(jiǎn)稱氦檢）以其高靈敏度和準(zhǔn)確性而通常應(yīng)用于整體防漏等級(jí)較高的壓力容器上。氦檢方法基本上可分為用氦氣內(nèi)部加壓法和設(shè)備內(nèi)部抽真空外部施氦這兩種，由于后者需將設(shè)備完全抽成真空狀態(tài),往往會(huì)增加試驗(yàn)用設(shè)備（如高、低壓真空泵、真空閥等）和設(shè)備工裝（如外壓加強(qiáng)圈）而使造價(jià)提高，所以該方法通常用于容積小而厚壁的設(shè)備；對(duì)于大多數(shù)壓力容器而言，通常優(yōu)先選用前一種方法。檢漏的任務(wù)就是在制造、安裝、調(diào)試過(guò)程中，判斷漏與不漏、泄漏率的大小，找出漏孔的位置。

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真空設(shè)備檢漏

氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。而對(duì)氦的檢測(cè)則使用的是質(zhì)譜儀，是只檢測(cè)氦的專用質(zhì)譜儀，這種質(zhì)譜儀將其它質(zhì)量數(shù)的氣體都屏蔽掉了。質(zhì)譜儀要想正常工作，需要真空環(huán)境。至少要在 10-3 mbar 以下，空氣的流動(dòng)才體現(xiàn)為分子流，質(zhì)譜儀才能穩(wěn)定正常工作。然后將被檢工件內(nèi)的空氣放空，放空后被檢工件預(yù)抽真空，充注4%氫氣和96%氮?dú)庵?。所以檢漏儀中還有一套高真空系統(tǒng)。

北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡(jiǎn)稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬(wàn)。科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有：薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備，檢漏設(shè)備，真空系統(tǒng)等非標(biāo)真空產(chǎn)品；系列分子泵，離子泵，鈦升華泵，深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備；它是將泄漏聲音中可聽頻率部分截掉，僅僅使超聲波部分放大，以檢測(cè)出泄漏。系列干式渦旋泵，干式爪泵，干式螺桿泵等無(wú)油真空獲得設(shè)備；超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。

如何選擇檢漏方式，與檢測(cè)對(duì)象的工作環(huán)境有很大關(guān)系，盡量做到與檢測(cè)對(duì)象的工作狀態(tài)一致。如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于正壓，則用正壓模式，如檢測(cè)對(duì)象工作時(shí)內(nèi)部處于負(fù)壓，則用真空模式。HLT260型氦質(zhì)譜檢漏儀具有嗅探和抽真空2種檢漏模式，即正壓模式和負(fù)壓模式。真空設(shè)備檢漏氦質(zhì)譜檢漏儀實(shí)際上可以說(shuō)是一個(gè)檢氦儀，通過(guò)檢測(cè)氦氣的含量來(lái)確定是否有泄漏。詳細(xì)檢漏方法與測(cè)量工作過(guò)程如下：

在抽真空方式下，待檢漏的器件通過(guò)測(cè)試端口與檢漏儀相連，

待測(cè)器件被檢漏儀內(nèi)部的粗抽泵和分子泵抽到一定的真空（如果待測(cè)器件容積較大，則需額外的泵組一起協(xié)同作業(yè)以提高xiao率）。只需測(cè)量待測(cè)器件外部大氣通過(guò)器壁的漏孔進(jìn)入器件內(nèi)部的氦的多少便可以判斷漏率的大小。但是，以氦氣作為示漏氣體，也有一些不足之處，例如橡膠、塑料等有機(jī)材料常常會(huì)吸收氦氣，在吸收后慢慢地釋放出來(lái)。如果需要得到精que的漏率數(shù)值，則必須等待整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)的真空達(dá)到穩(wěn)態(tài)，