氦質(zhì)譜檢漏儀

不僅耗能耗時，還會直接影響真空工藝條件，造成產(chǎn)品不合格等重大生產(chǎn)質(zhì)量問題。究其原因是由于真空系統(tǒng)設(shè)備存在泄漏所致，所以真空系統(tǒng)設(shè)備的真空系統(tǒng)需要進(jìn)行檢漏。對于由各個組件組成的真空系統(tǒng)，各個組件本身存在的一些工藝瑕疵都會直接影響到系統(tǒng)的固有漏率

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年泄漏率大的標(biāo)準(zhǔn)漏孔，更是要注意，經(jīng)常校準(zhǔn)。如果發(fā)現(xiàn)異常，要用外置漏孔校準(zhǔn)。注意使用的環(huán)境。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的生產(chǎn)、檢測，都是在20-25℃的室溫下進(jìn)行。尤其有些標(biāo)準(zhǔn)漏孔，對溫度特別敏感。溫度每變化1℃，標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率就有3%以上的誤差。例如，夏天，室溫達(dá)到30℃，這種標(biāo)準(zhǔn)漏孔的漏率誤差增加30%。

氦較除氫以外的其他氣體通過同一漏孔的漏率就大，容易發(fā)現(xiàn)，靈敏度高。氦是惰性氣體，不與被檢件器壁起化學(xué)反應(yīng)，不會污染被檢件，使用安全。在氦兩側(cè)的是氫（質(zhì)荷比為2）和雙電荷原子碳（質(zhì)荷比為6），質(zhì)荷比都與氦相差較大。這樣，它們在分析器中的偏轉(zhuǎn)半徑相差也大，容易分開，定標(biāo)找氦峰時，不易受其他離子的干擾

能為不同的應(yīng)用提供廣泛的測試方法，含有渦輪分子泵、內(nèi)置機(jī)械泵、外置機(jī)械泵、光譜、儀管、閥組、檢漏儀電子元件和操作頁面，以及可選功能組件。氦質(zhì)譜檢漏儀在許多領(lǐng)域里得到廣泛的應(yīng)用,例如,在航空航天領(lǐng)域里宇宙飛船、航天飛機(jī)、火箭、、飛機(jī)等這些都要用到真空檢漏技術(shù)