無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間凈化設備的作用主要在于去除空氣中的懸浮顆粒物（灰塵、花粉等），殺滅吸附其上的病毒和細菌；同時吸附分解空氣中有毒有害氣體以提高室內(nèi)空氣清潔度，實現(xiàn)室內(nèi)空氣凈化，選購空氣凈化設備時應注意以下事項：  

一、安全性：經(jīng)過了部門的安全檢測認證，保證凈化設備的使用安全

二、適用性：根據(jù)需要凈化的污染物種類選擇空氣凈化設備，或者直接選擇能夠?qū)崿F(xiàn)新風的新風系統(tǒng)。

三、使用壽命：隨著凈化過濾膽趨于飽和，凈化器的吸附能力將下降，所以消費者應選擇具有再生功能的凈化過濾膽，以延長其壽命，選擇經(jīng)過質(zhì)量驗證的產(chǎn)品，有質(zhì)量保證。

四、凈化效率：房間較大，應選擇單位凈化風量大的空氣凈化設備；例如15平方米的房間應選擇單位凈化風量在120立方米／小時的凈化設備

五、過濾材料：好的過濾材料(如空氣過濾器濾材)吸附0.3微米以上污染物的能力高達99.9%以上；如果室內(nèi)煙和塵污染較重，可選擇除塵效果較佳的凈化設備，如果空氣不流通，可以選擇新風排氣的新風系統(tǒng)。  

六、售后服務：應選擇售后服務完善的廠家生產(chǎn)的產(chǎn)品。

清潔車間是指專門為控制房間的清潔和清除空氣中在規(guī)定范圍內(nèi)漂浮的微粒子、有害空氣、細菌等污染物而設計的房間。凈化工程公司對于凈化空調(diào)系統(tǒng)的加濕問題而言，常用的加濕方法有很多種，有淋水、濕膜、高壓噴霧超聲波等水加濕，這些加濕方法屬等焓加濕過程。而噴蒸汽、噴干蒸汽和電極（電熱）加濕是向空調(diào)送風中噴蒸汽，其加濕方法屬等溫加濕過程。