對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內(nèi)污染的程度，所以主要用換氣次數(shù)這一概念，而不直接用速度的概念，不過對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求：

　　1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大，和單純空調(diào)房間相比，要求速度衰減更快，擴(kuò)散角度更大。

　　2、吹過水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大，以免吹起表面微粒重返氣流，而造成再污染，這一速度一般不宜大干0。2m/s。

　　在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和<潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范))都是這樣規(guī)定的

　　垂直平行流(層流)潔凈室≥0。25m/s

　　水平平行流(層流)潔凈室≥0。35m/s

潔凈廠房“潔凈概念”的核心潔凈廠房“潔凈概念”的核心是控制塵埃。潔凈廠房從設(shè)計(jì)開始，到建筑、裝修，以及空氣凈化、氣流組織、人員凈化等要素都圍繞這個(gè)核心。潔凈廠房保潔也離不開這個(gè)核心。潔凈廠房保潔技術(shù)潔凈廠房的建設(shè)雖然對(duì)塵?？刂朴辛撕芨叩谋Ｕ?，但是，建筑裝修材料、設(shè)施設(shè)備、生產(chǎn)工藝、人員都會(huì)不同程度的發(fā)塵和塵埃積聚，尤其是10000級(jí)、100000級(jí)潔凈廠房(因建造成本限制)。

　微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計(jì)定型。