處理有機(jī)廢氣有許多常用的工業(yè)過程，如光催化、低溫等離子體、微波催化、催化燃燒、活性炭吸附、生物溶液降解等。這些有機(jī)廢氣由于行業(yè)和濃度的不同，適用于不同的處理方法。在有機(jī)廢氣處理過程中，光催化廢氣處理是無毒的，沒有任何副作用。光催化廢氣正逐步超越傳統(tǒng)的臭氧等空氣凈化器，并能在有人在場的情況下連續(xù)消毒除塵，對人體無副做用。為了消除有害氣體的異味，一次電子在電場中加速并撞擊空氣中的氧分子。當(dāng)?shù)入x子體廢氣凈化器的能量超過氧分子的電離勢時(shí)，氧分子迅速電離。失去電子的氧分子變成正氧離子（O2 ），而釋放的電子與另一個(gè)中性氧分子結(jié)合成為負(fù)氧離子（O2-）。其結(jié)果是，氧離子被分為兩個(gè)階段，吸收中間氧分子形成氧基團(tuán)，如O2 、O2-、O2等，它們具有較強(qiáng)的氧化性，能夠在短時(shí)間無害的產(chǎn)品和水中氧化和分解被污染的空氣中的有害組分為負(fù)氧離子（O2-）。

紫外線光氧廢氣處理設(shè)備分解后的惡臭氣體可實(shí)現(xiàn)無害化排放，不產(chǎn)生二次污染，同時(shí)達(dá)到消毒滅菌的效果，然后通過排氣管排放到室外；適用于：注塑、印刷、家具、噴涂，焊接廢氣、各類工業(yè)VOC有機(jī)廢氣、除臭除臭凈化。

利用吸收法的廢氣處理設(shè)備采用低揮發(fā)或不揮發(fā)性溶劑對VOCs進(jìn)行吸收，再利用VOCs和吸收劑物理性質(zhì)的差異進(jìn)行分離。含VOCs的氣體自設(shè)備底部進(jìn)入塔內(nèi)，在上升過程中與來自塔頂?shù)奈談┠媪鹘佑|，凈化后的氣體由塔頂排出。

吸附型廢氣處理設(shè)備主要是利用多孔物質(zhì)對廢氣進(jìn)行吸附，并且使其進(jìn)行脫落的過程，吸附處理廢氣時(shí)，吸附的對象是氣態(tài)污染物，氣固吸附。被吸附的氣體組分稱為吸附質(zhì)，多孔固體物質(zhì)稱為吸附劑。

燃燒及催化廢氣處理設(shè)備，燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質(zhì)燃燒，大多數(shù)生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當(dāng)處理含氯和含硫的有機(jī)化合物時(shí)，燃燒生成產(chǎn)物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進(jìn)一步處理。

低溫等離子設(shè)備是利用等離子體內(nèi)部產(chǎn)生富含極高化學(xué)活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團(tuán)發(fā)生反應(yīng)，蕞終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達(dá)到凈化廢氣的目的。

羅茨真空機(jī)組的工作壓力應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓力要求。

對羅茨真空泵機(jī)組的極限壓力的要求，也是選擇前級泵必須考慮的，對極限真空度要求較高(達(dá)1×10-3Pa~1×10-2Pa壓力)一般選用雙級旋片式油封機(jī)械泵或雙級滑閻機(jī)械泵作為前級泵。極限真空度要求在(1×10-2Pa～1×10-1Pa)之間可選用單級油封機(jī)械泵作為前級泵，極限真空度要求在133~1333pa之間可選用往復(fù)式真空泵或液環(huán)式真空泵作為前級泵。

當(dāng)選用往復(fù)式或液環(huán)式粗真空泵作為羅茨真空泵的前級泵時(shí)，前級泵的抽速一般為羅茨真空泵的1/2-1/4，不能太大，否則將使壓縮比過大，造成羅茨真空泵的排氣溫度高而不能正常工作。選用前級泵時(shí)還必須考慮被抽氣體中是否有腐蝕性介質(zhì)，是否含有可凝性氣體，是大量的還是微量的。如果含有腐蝕性氣體.就不能選用油封機(jī)械泵，油封機(jī)械泵還不適宜抽除含有大量可凝性蒸汽的氣體，否則將會(huì)使密封液很快乳化，抽除含有微量可凝性蒸汽的氣體時(shí)，也必須采用帶有氣鎮(zhèn)裝置的油封機(jī)械泵作為前級泵。

為了獲得在低入口壓力(1-100pa)時(shí)的高的抽氣速率，可用一臺(tái)羅茨真空泵作為另一臺(tái)羅茨真空泵的前級泵組成的三級或四級機(jī)組，此時(shí)羅茨真空泵之問的抽速比一般在2~5之間。