無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫濕度的要求也越來越高，必須達到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

無塵車間凈化設備的作用主要在于去除空氣中的懸浮顆粒物（灰塵、花粉等），殺滅吸附其上的病毒和細菌；同時吸附分解空氣中有毒有害氣體以提高室內空氣清潔度，實現(xiàn)室內空氣凈化，選購空氣凈化設備時應注意以下事項：  

一、安全性：經過了部門的安全檢測認證，保證凈化設備的使用安全

二、適用性：根據(jù)需要凈化的污染物種類選擇空氣凈化設備，或者直接選擇能夠實現(xiàn)新風的新風系統(tǒng)。

三、使用壽命：隨著凈化過濾膽趨于飽和，凈化器的吸附能力將下降，所以消費者應選擇具有再生功能的凈化過濾膽，以延長其壽命，選擇經過質量驗證的產品，有質量保證。

四、凈化效率：房間較大，應選擇單位凈化風量大的空氣凈化設備；例如15平方米的房間應選擇單位凈化風量在120立方米／小時的凈化設備

五、過濾材料：好的過濾材料(如空氣過濾器濾材)吸附0.3微米以上污染物的能力高達99.9%以上；如果室內煙和塵污染較重，可選擇除塵效果較佳的凈化設備，如果空氣不流通，可以選擇新風排氣的新風系統(tǒng)。  

六、售后服務：應選擇售后服務完善的廠家生產的產品。

無塵車間風量該如何計算？

根據(jù)工藝要求確定無塵車間的潔凈度等級,并決定利用全室空氣凈化還是局部空氣凈化,根據(jù)表選型表確定空氣氣流型式，無塵車間凈化空調的計算方法如下：

1.計算新風量,取下列兩項中的大者,計算方法略；

(1)補償室內排風量和保持正壓值所需新鮮空氣量之和。

(2)保證潔凈室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3/小時。

2.計算潔凈室的冷熱負荷；

3.計算送風量,取下列三項中的很大值,計算方法略；

(1)為保證空氣潔凈度等級的送風量。

(2)根據(jù)熱.濕負荷計算確定的送風量。

(3)向潔凈室內的供給的新鮮空氣量(新風量)。

4.根據(jù)送風量,冷熱負荷和選擇的氣流組織形式,計算氣流組織各參數(shù)；

5.確定空氣加熱冷卻的處理方案,用一次回風還是二次回風；

6.根據(jù)工業(yè)要求或氣流組織計算時確定的送風溫差及室內外計算參數(shù),在i-d圖上確定各狀態(tài)點,計算空調器處理風量,潔凈室循環(huán)風量；

7.計算總冷熱負荷,選擇空氣處理設備；

8.校核潔凈室內的微粒濃度和細菌濃度。

車間的設計是綜合考慮空氣凈化系統(tǒng)的布置、流型的選擇和管道系統(tǒng)的布置等，進行建筑物平面和斷面的設計，并在工藝步驟的基礎上，正確處理潔凈室與非潔凈室和不同潔凈室之間的關系，使要求潔凈度高、潔凈度要求低的房間處于正壓狀態(tài)，提高氣密性。還要注意建筑物內部的噪聲控制，隔離外部噪聲干擾，注意防火，以及緊急情況下人員的安全疏散。人員和材料入口應分開設置，以避免人員和物流線之間的往返。純化流線應清晰，短而且經過反純化。