特長(zhǎng)

● 潔凈的真空

● 腔體內(nèi)沒有潤滑油，對(duì)水蒸氣、溶劑等氣體也有穩(wěn)定的排氣性能

● 能在高吸入壓強(qiáng)下運(yùn)作

用途

◆ 照明、電子、光學(xué)、半導(dǎo)體

◆ 鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入

◆ 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

◆ 真空熱處理爐、燒結(jié)爐、釬焊爐

◆ 分析儀器、檢漏設(shè)備、CO2激光設(shè)備

特長(zhǎng)

● 低溫領(lǐng)域下的均熱化。

● 低噪音、低振動(dòng)

● 優(yōu)良的耐腐蝕性

● 多種自主功能選購件

用途

◆ 活性氣體

◆ 非活性氣體

◆ 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣

◆ 作為前級(jí)泵使用

◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣

可提供的選購件有：真空計(jì)、油霧過濾器、電磁閥、配管、真空管、流量計(jì)、各種接管

TM系列油霧過濾器

當(dāng)油回轉(zhuǎn)真空泵在大氣壓下啟動(dòng)或粗真空下運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，真空泵油會(huì)與被抽進(jìn)去的氣體一起

排出。這種廢氣由許多微小的油滴組成，以煙霧的形式從泵的排氣口排出。TM系列油霧

過濾器可以確保一個(gè)清潔的環(huán)境，保護(hù)室內(nèi)設(shè)備免受油霧污染。

                    特點(diǎn)

               ● 過濾油霧

               ● 減少噪音

               ● 內(nèi)部濾芯更換方便

               ● 油回收方法可選（選購件），與泵連接方便。

愛發(fā)科寧波合資企業(yè)生產(chǎn)：羅茨泵系列：NB100A;NB300A;NB600A;NB1200A;PMB-001C;一PMB-003C;一PMB-006C油旋片真空泵系列:VS-1501;VS-2401;VD-301;VD-401;GLD-136;GLD-201;PVD-180;PVD-360;VSN1501;VSN2401;VDN301;VDN401;GLD-N136;GLD-N201;GLD-N051;GLD-N280;PVD-N180;PVD-N360;多種真空泵油系列：R-4;R-7;R-80;TM系列油霧過濾器：TM-151;TM-201;TM-401;TM-3;TM-4;

ULVAC機(jī)工株式會(huì)社作為專門制造銷售小型真空泵及小型真空儀器、裝置的廠家，產(chǎn)品應(yīng)用于各行業(yè)的高、中、低真空領(lǐng)域。特別是真空儀器、裝置上配用的小型真空泵，產(chǎn)品品種、品質(zhì)均處于世界地位，滿足了各小型真空泵的專業(yè)使用廠家的需求。

愛發(fā)科真空泵

株式會(huì)社ULVAC作為追求真空極限（Ultimate in Vacuum)的真空技術(shù)先驅(qū)，以電子技術(shù)及信息通信技術(shù)為首，在能源、環(huán)保、運(yùn)輸、食品、化工、生物工程等廣闊的領(lǐng)域，以生產(chǎn)設(shè)備為中心、提供先進(jìn)的真空技術(shù)產(chǎn)品。愛發(fā)科ULVAC主要生產(chǎn)各種油旋片泵、羅茨泵、機(jī)組（含規(guī)格品）、排氣小車。特別是在半導(dǎo)體制造設(shè)備及平面顯示器等制造設(shè)備方面，以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，進(jìn)行了各種技術(shù)開發(fā)，已經(jīng)和正在提供作為制造工藝重要部分的先進(jìn)設(shè)備。