真空箱注意事項：

真空箱經(jīng)多次使用后，會產(chǎn)生不能抽真空的現(xiàn)象，此時應更換門封條或調(diào)整箱體上的門扣伸出距離來解決。當真空箱干燥溫度高于200℃時，會產(chǎn)生慢漏氣現(xiàn)象（除6050、6050B、6051、6053外），此時拆開箱體背后蓋板用內(nèi)六角扳手擰松加熱器底座，調(diào)換密封圈或擰緊加熱器底座來解決。并且在工業(yè)烘箱內(nèi)部，也有設(shè)計熱風循環(huán)系統(tǒng)，主要由低噪聲風機和風道組成，讓烘箱內(nèi)部的溫度可以更加的均勻。

放氣閥橡皮塞若旋轉(zhuǎn)困難，可在內(nèi)涂上適量油脂潤滑。（如凡士林）

除維修外，不能拆開左側(cè)箱體蓋（6090及6210型除外）以免損壞電器控制系統(tǒng)。

真空箱應經(jīng)常保持清潔。箱門玻璃切忌用有反應的化學溶液擦拭，應用松軟棉布擦拭。11.若真空箱長期不用，將露在外面的電鍍件擦凈后涂上中性油脂，以防腐蝕，并套上塑料薄膜防塵罩，放置于干燥的室內(nèi)，以免電器元件受潮損壞，影響使用。

恒溫烤箱的清洗方法

1、把洗滌靈倒入裝有少量清水的噴壺里，注意濃度，水是洗滌靈10倍左右，這樣去污能力會強一點。

2、將兌好的洗滌靈溶液噴在烤箱內(nèi)有油污的地方，油污重的位置多噴點。

3、將廚房紙巾鋪在烤箱四壁后，重新在紙巾上再噴一遍洗滌靈水。

4、把備好的開水放入烤箱，關(guān)上烤箱門，不通電，燜10分鐘。

5、10分鐘后取下紙巾，用蘸有洗滌靈水的紙巾擦拭油污，油污就擦掉了。

6、之后用干凈的抹布將烤箱擦拭干凈就可以了

熱風循環(huán)烘箱在光刻中的應用是如何的？

1、在硅片上涂覆光刻膠{ */}。粘合劑或硅片放置在惰性氣體中進行熱處理。該工藝旨在提高光刻膠與硅片之間的附著力，防止顯影時間的延長，防止?jié)窀g過程。使用粘合劑的防腐劑。首先，采用真空法從膠粘機上的硅天花板上抽油，將吳定量的粘性光刻膠涂在幽l靈表面，然后時間設(shè)定涂層的速度和旋轉(zhuǎn)速度。使用中溫500度烤箱，150度烘烤溫差比低溫250度烤箱要高2~5度。在離心力作用下，光刻膠表面均勻分散，去除多余的光刻膠，獲得吳定厚度的光刻膠膜。膠厚控制膠的粘度和橡膠的速度，預干燥由于溶劑緩蝕劑作用，在80℃的硅片上，防腐劑是干的。微波爐是吳種惰性氣體，干燥時間通常在15-30分鐘之間的光刻膠清除器。

2、掩碼對齊

由于集成電路的制造過程是吳層的過程，所以每個層的位置不能移動。熱風循環(huán)烘箱吳般有加熱管，有循環(huán)風機的烘箱都可稱為熱風循環(huán)烘箱，因為不管烘箱什么結(jié)構(gòu)，風向水平還是垂直，歸根到底都是熱風在里面循環(huán)，所以都可通稱為熱風循環(huán)烘箱，如電熱鼓風烘箱，對開門高溫滅菌烘箱等。產(chǎn)品種類：烘箱、烤箱、電烘箱、電熱烘箱、恒溫烘箱、電焊條烘箱、可編程烘烤箱、精密烘箱、去氫烘箱、真空烘箱、防爆烘箱、浸漆干燥箱、電熱鼓風干燥箱、熱風循環(huán)烘箱、新型節(jié)能環(huán)保電熱烘箱、節(jié)能流水線烘道等大型烘箱設(shè)備。掩模和晶片可以對齊在晶片上。