半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍

半導(dǎo)體凈化車間設(shè)計的設(shè)計范圍包括：裝修方案（圍護、地面防水保溫處理），暖通方案（空調(diào)設(shè)備、風(fēng)管、水管等），特氣供應(yīng)方案（特氣柜含保險控制、房間氣體監(jiān)測、EP級管道及BA管道、供氣管路尾氣處理），壓縮空氣方案，廢氣處理方案（儀器設(shè)備POU處理、房間排風(fēng)廢氣處理），電氣方案（空調(diào)設(shè)備動力配電等），弱電工程，集成控制智能平臺，純水方案（冷卻水、去離子水、超純水、水管等），廢水處理。

潔凈室的建筑布局和凈化空調(diào)系統(tǒng)有密切關(guān)系

潔凈室的建筑布局和凈化空調(diào)系統(tǒng)有密切關(guān)系，凈化空調(diào)系統(tǒng)既要服從建筑總體布局，建筑布局也要符合凈化空調(diào)系統(tǒng)的原則，才能充分發(fā)揮相關(guān)功能的作用。凈化空調(diào)的設(shè)計者不僅要了解建筑布局以考慮系統(tǒng)的布置，而且要給建筑布局提出要求，使其符合潔凈室原理。潔凈室一般包括潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。外廊環(huán)繞式：外廊可以有窗和無窗，兼作參觀和放置一些設(shè)備用，有的在外廊內(nèi)設(shè)值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面,故作為

頂部技術(shù)夾層。在這種夾層內(nèi)一般因送、回風(fēng)管的斷面，故作為夾層內(nèi)首先考慮的對象。一般將其安排在夾層的上方，其下安排電氣管線。當(dāng)這種夾層的底板可承受一定重量時，可以在上面設(shè)置過濾器及排風(fēng)設(shè)備等。房間技術(shù)夾層。這種方式和只有頂部夾層相比，可以減少夾層的布線與高度，可以省去回風(fēng)管道返回上夾層所需的技術(shù)夾道。在下夾道內(nèi)還可設(shè)回風(fēng)機動力設(shè)備配電等，某層潔凈室的上夾道可以兼做上一層的下夾道。