吹淋室不能作為通常收支通道

吹淋室不能作為通常收支通道，由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或主動，一旦出現(xiàn)毛病，十分影響分散，所以通常均在吹淋室設(shè)旁通門，作業(yè)人員多于5人時有必要設(shè)此門。平常作業(yè)人員出凈化車間時不應(yīng)走吹淋室而應(yīng)走旁通門。 凈化區(qū)內(nèi)各凈化車間的門，思考到保持室內(nèi)壓力情況的需求，其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間，由于要靠壓力把門壓緊，這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時的兩方面需求，規(guī)則凈化區(qū)和非凈化區(qū)之間的門、凈化區(qū)與室外的門作為安全分散門對待，其敞開方向一概朝向分散方向，當(dāng)然，單設(shè)的安全門也是如此。

影響不同潔凈級別造價的主要指標

我們知道，影響不同潔凈級別潔凈室造價的主要指標是風(fēng)量、冷量及耗電量等。在工業(yè)潔凈廠房設(shè)計中，采用氣流類型主要有單向流及非單向流類型。 非單向流潔凈室廣泛用于電子工業(yè)、生物工業(yè)和各種工業(yè)潔凈室，這類潔凈室的進化空調(diào)系統(tǒng)的送回風(fēng)通常采用頂送側(cè)回、頂送頂回等方式，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi)布置送回風(fēng)管、排風(fēng)管和和各種公用動力管線等。

我國使用的0

我國使用的0.1微米十級潔凈室主要依賴從國外進口。由于高潔凈級別的潔凈室造價十分昂貴，0.1微米十級潔凈室每平方米造價高達1萬美元以上。在大規(guī)模集成電路制造裝備的投資中潔凈廠房占有相當(dāng)高的比例，這與集成電路工藝不斷更新，產(chǎn)品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢不相適應(yīng)，嚴重制約了大規(guī)模集成電路技術(shù)的發(fā)展。美國ASYST公司、德國MW公司發(fā)展的使用隔離技術(shù)的亞微米生產(chǎn)微環(huán)境系統(tǒng)設(shè)備和技術(shù)在近幾年中得到廣泛采用。該項的潔凈技術(shù)在100級潔凈度的潔凈廠房中，采用工藝設(shè)備局部使用隔離技術(shù)的微環(huán)境，把投資比例壓縮到別的微環(huán)境，消除了操作者與工藝設(shè)備運行的二次污染源產(chǎn)生對集成電路成品率和可靠性的影響作用。