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流量器安裝使用注意事項(xiàng)
前置直管段
1)熱分布式 本類(lèi)儀表對(duì)上下游配管布置不敏感,通常認(rèn)為無(wú)上下游直管段長(zhǎng)度要求。國(guó)際標(biāo)草案ISO/DIS 11451認(rèn)為流量測(cè)量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場(chǎng)剖面畸變影響。然而B(niǎo)S 7405卻認(rèn)為;①上下游直管段長(zhǎng)度可小至2D;②在進(jìn)口端置一金屬(或塑料)網(wǎng),可有效地改善流速分布畸變,得到分布均勻的氣流;③要防止從小管徑突然擴(kuò)大進(jìn)入較大口徑儀表,要緩慢過(guò)渡。質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門(mén)和放大控制器等部分組成。
2)浸入式 帶測(cè)量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長(zhǎng)度前置直管段,ISO/DIS 14511對(duì)此未作具體規(guī)定,而按制造廠(chǎng)建議的值。BS 7405建議對(duì)于在管道中用插入熱絲流速計(jì)時(shí),需要(8~10)D的上游直管段和(3~5)D的下游直管段。質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。表4列舉Sierra公司對(duì)帶測(cè)量管浸入式TMF所規(guī)定的上直管段長(zhǎng)度;若在其進(jìn)口端裝一塊或二快多孔板式流動(dòng)調(diào)整器(整流器)后,則其長(zhǎng)度可大為縮短。
流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn): 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào); 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓, 適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過(guò)規(guī)定的范圍。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表,設(shè)定電位器,外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。只要做到以上三點(diǎn), MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。
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流量控制器
氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和slm(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來(lái)表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。除正常安裝要求外,要特別注意減少振動(dòng)影響,因?yàn)橘|(zhì)量流量控制器是基于振動(dòng)原理工作的,外加振動(dòng)會(huì)引入干擾。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計(jì)的重要區(qū)別,也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。
對(duì)多數(shù)用戶(hù)而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,但也有用戶(hù)需要知道單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個(gè)要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個(gè)常數(shù), 可以方便地查到,因而簡(jiǎn)單地做一個(gè)乘法(以密度乘以若干slm)即可實(shí)現(xiàn)。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流,或者計(jì)算機(jī)、PLC提供。所以說(shuō),在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。